[实用新型]内支撑式磁悬浮电机散热结构

说明书

本实用新型公开了一种内支撑式磁悬浮电机散热结构，包括底座、旋转绕组组件、悬浮绕组组件、电涡流传感器组件以及散热罩，所述散热罩安装在所述底座上，所述底座自下而上分别设有第一上表面、第二上表面和第三上表面；所述旋转绕组组件安装在第三上表面的外平面相接触，所述悬浮绕组组件与第三上表面的中心面相接触，所述电涡流传感器组件安装在所述底座的第二上表面上，所述散热罩的下表面与底座的第一上表面相接。本实用新型具有更小的轴向尺寸和径向尺寸和更优的散热性能。

技术领域

本实用新型涉及一种内支撑式磁悬浮电机的散热结构。

背景技术

在高端半导体制造工艺过程中，化学药液的供给系统是高端半导体设备中不可或缺的功能单元，其严苛的工艺参数要求液体供给系统必须具备耐化学腐蚀、不产生颗粒污染物、结构紧凑、压力流量调节范围大且稳定、低脉动、高可靠性等特性，而磁悬浮电机正是最合适的选择。现有的磁悬浮电机多以外侧磁悬浮，内侧通过磁力环与电机马达末端的磁力环连接，轴向尺寸较大，结构复杂，并且存在机械旋转支撑，使用寿命不长；或者有在转子中心布置旋转绕组直接驱动转子旋转的，但是这样会导致产品径向结构偏大，且由于驱动线圈布置在电机的中心，在高速旋转的情况下，较大的驱动电流产生大量热量不易耗散，使得无法长期稳定工作。

实用新型内容

为了解决现有技术存在的问题，本实用新型提供了一种内支撑式磁悬浮电机散热结构，通过设置更加合理的散热结构，使得悬浮泵产生的热量得到更好的消散，保证了悬浮泵运行的稳定性。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案是一种内支撑式磁悬浮电机散热结构，包括底座、旋转绕组组件、悬浮绕组组件、电涡流传感器组件以及散热罩，所述旋转绕组组件、悬浮绕组组件、电涡流传感器组件和散热罩均安装在所述底座上；所述底座自下而上分别设有第一上表面、第二上表面和第三上表面，所述第三上表面由不连续的中心面和外平面组成；所述旋转绕组组件安装在第三上表面的外平面相接触，所述悬浮绕组组件与第三上表面的中心面相接触，所述电涡流传感器组件安装在所述底座的第二上表面上，所述散热罩的下表面与底座的第一上表面相接。

于本实用新型一实施例中，所述散热罩的内表面与所述旋转绕组组件相接触。

于本实用新型一实施例中，所述散热罩为中空柱状。

于本实用新型一实施例中，所述散热罩内侧壁为光滑圆柱面。

于本实用新型一实施例中，所述散热罩的外表面设置有散热筋。

于本实用新型一实施例中，所述散热筋为齿槽结构，所述齿槽结构沿所述散热罩的周向均匀分布。

于本实用新型一实施例中，所述散热罩包括两层，分别为散热内层和散热外层，所述散热内层与散热外层之间固定连接，所述散热内层与散热外层之间设有间隙，所述散热内层的内表面与所述旋转绕组组件相接触，所述散热外层上设置有散热筋。

于本实用新型一实施例中，还包括密封壳，所述密封壳上设有中空腔，所述转子设于所述中空腔中，所述转子的旋转中心轴与所述中空腔的中心轴线重合，所述密封壳安装在所述底座上方。

于本实用新型一实施例中，还包括转子，所述转子位于所述旋转绕组组件与悬浮绕组组件之间，所述悬浮绕组组件位于所述转子的内部。

于本实用新型一实施例中，还包括密封罩，所述密封罩的中心轴线与底座的中心轴线重合，所述密封罩的外侧边抵接在所述散热罩内侧壁上，所述密封罩的外侧边下表面与所述旋转绕组组件的上表面密接。

所述旋转绕组组件包括旋转磁轭和旋转绕组，所述旋转磁轭内圆周方向设有旋转绕组，所述密封罩的外侧边下表面与所述旋转磁轭的上表面密接。

本技术方案具有以下有益效果：