[实用新型]氯硅烷充装系统

权利要求书

1.一种氯硅烷充装系统，其特征在于，包括：

充装管，所述充装管具有保护气口、氯硅烷进口、抽真空口和适于与氯硅烷气瓶相连的充装接口；

保护气源，所述保护气源与所述保护气口连通、用于向所述充装管内供入保护气体以吹扫所述充装管；

氯硅烷储罐，所述氯硅烷储罐与所述氯硅烷进口连通，所述氯硅烷储罐用于存储和亚沸蒸发液态氯硅烷以向所述充装管内供给气态氯硅烷；

气液分离装置，所述气液分离装置用于分离从所述氯硅烷进口供给到所述充装管内的气态氯硅烷中的液滴；

真空泵，所述真空泵与所述抽真空口连通，所述真空泵用于对所述充装管以及与所述充装接口相连的氯硅烷气瓶抽真空；

冷却装置，所述冷却装置设在所述充装管上且位于所述气液分离装置和所述充装接口之间，所述冷却装置用于将所述气态氯硅烷冷却为液态氯硅烷并分离和排出所述氯硅烷中的不凝气体。

2.根据权利要求1所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，所述冷却装置为深冷器。

3.根据权利要求1所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括回流管，所述回流管连接在所述气液分离装置和所述氯硅烷储罐之间，用于将所述液滴回流至所述氯硅烷储罐内。

4.根据权利要求1所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括称重装置和第一加热装置，所述称重装置用于对所述氯硅烷气瓶称重，所述第一加热装置用于加热所述气瓶以将所述氯硅烷气瓶内的部分液态氯硅烷加热为气态氯硅烷。

5.根据权利要求4所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括检测设备，所述检测设备与所述氯硅烷气瓶可拆卸地连接，以便所述氯硅烷气瓶内的部分液态氯硅烷由所述第一加热装置加热为气态的氯硅烷并进入所述检测设备内以进行检测。

6.根据权利要求4所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括设在所述充装接口处的充装阀和控制器，所述控制器与所述称重装置和所述充装阀相连以根据所述称重装置的称重值控制所述充装阀。

7.根据权利要求1所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括充装面板，所述充装面板内具有充装通道，所述充装通道具有与所述充装接口连通的进口和多个出口，多个所述出口适于与多个氯硅烷气瓶一一对应地可拆卸相连。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，还包括第二加热装置，所述第二加热装置设在所述氯硅烷储罐上，用于微波或红外辐射加热所述氯硅烷储罐内的氯硅烷液面，所述氯硅烷储罐的外周设有夹套，所述夹套具有加热介质通道，所述加热介质通道具有用于通入加热介质以加热所述氯硅烷储罐内的液态氯硅烷的介质进口和排出加热介质的介质出口。

9.根据权利要求8所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，所述氯硅烷储罐内设有用于检测所述氯硅烷储罐内的液态氯硅烷温度的温度传感器。

10.根据权利要求8所述的氯硅烷充装系统，其特征在于，第二加热装置有多个且在上下方向上分层设置。