[实用新型]一种内置式PBN烘烤炉膛隔热装置有效

专利信息
申请号: 202120532405.5 申请日: 2021-03-15
公开(公告)号: CN215887318U 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 孟国浩;罗爱斌;陈章水 申请(专利权)人: 广东先导微电子科技有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;F27D1/00
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 李琼芳;肖小龙
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 内置 pbn 烘烤 炉膛 隔热 装置
【权利要求书】:

1.一种内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,所述隔热装置设置在炉膛出口处,其特征在于,所述隔热装置为高稳定性耐高温材料制成的两端密闭的管状结构,所述管状结构的外管壁与炉膛出口处内壁贴合设置,所述管状结构的两端尺寸不大于炉膛出口处尺寸,在所述管状结构的内腔填充隔热介质,所述管状结构的内腔设有贯穿两端的通孔,所述管状结构的外端设有提手。

2.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述提手为石英材质。

3.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述管状结构为圆管结构。

4.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述管状结构为全封闭一体化成型。

5.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述管状结构内腔为真空状态。

6.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述通孔沿管状结构的对称中轴线设置。

7.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述管状结构内端为平面结构。

8.根据权利要求7所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述管状结构内腔向炉膛底部方向的端部设有耐高温金属抛光板。

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