[实用新型]一种内置式PBN烘烤炉膛隔热装置有效
申请号: | 202120532405.5 | 申请日: | 2021-03-15 |
公开(公告)号: | CN215887318U | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 孟国浩;罗爱斌;陈章水 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;F27D1/00 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李琼芳;肖小龙 |
地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 内置 pbn 烘烤 炉膛 隔热 装置 | ||
1.一种内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,所述隔热装置设置在炉膛出口处,其特征在于,所述隔热装置为高稳定性耐高温材料制成的两端密闭的管状结构,所述管状结构的外管壁与炉膛出口处内壁贴合设置,所述管状结构的两端尺寸不大于炉膛出口处尺寸,在所述管状结构的内腔填充隔热介质,所述管状结构的内腔设有贯穿两端的通孔,所述管状结构的外端设有提手。
2.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述提手为石英材质。
3.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述管状结构为圆管结构。
4.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述管状结构为全封闭一体化成型。
5.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述管状结构内腔为真空状态。
6.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述通孔沿管状结构的对称中轴线设置。
7.根据权利要求1所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述管状结构内端为平面结构。
8.根据权利要求7所述的内置式PBN烘烤炉膛隔热装置,其特征在于,所述管状结构内腔向炉膛底部方向的端部设有耐高温金属抛光板。
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