[实用新型]一种气相外延炉用过滤装置有效
申请号: | 202120532600.8 | 申请日: | 2021-03-15 |
公开(公告)号: | CN214634841U | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 刘伟;付强;吴健东 | 申请(专利权)人: | 常州森美特微电子有限公司 |
主分类号: | B01D46/10 | 分类号: | B01D46/10;B01D46/42;C30B25/14 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 尚欣 |
地址: | 213000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 外延 过滤 装置 | ||
1.一种气相外延炉用过滤装置,包括过滤体(1)和支撑过滤体(1)的支撑腿(2),其特征在于,所述的过滤体(1)包括上过滤体(1.1)和下过滤体(1.2),所述的所述的上过滤体(1.1)和下过滤体(1.2)的两侧均设有固定装置(3),所述的固定装置(3)包括设置在上过滤体(1.1)上的上固定板(3.1),所述的下过滤体(1.2)上设有下固定板(3.2),所述的上固定板(3.1)和下固定板(3.2)上设有安装孔(3.3),所述的上过滤体(1.1)和下过滤体(1.2)之间设有密封垫片(4)和过滤网(5),所述的下过滤体(1.2)的一侧设有出气口(6)且出气口(6)延伸至下过滤体(1.2)内,所述的下过滤体(1.2)内设有挡板(7)且挡板(7)位于出气口(6)的一侧,所述的下过滤体(1.2)的底部设有凸块(8),所述的凸块(8)远离下过滤体(1.2)的一端设有挡圈(9)且挡圈(9)固定安装在下过滤体(1.2)内壁上,所述的上过滤体(1.1)远离下过滤体(1.2)的一端设有进气口(10)。
2.根据权利要求1所述的一种气相外延炉用过滤装置,其特征在于:所述的上过滤体(1.1)和下过滤体(1.2)之间螺栓连接固定。
3.根据权利要求1所述的一种气相外延炉用过滤装置,其特征在于:所述的挡板(7)为倾斜结构。
4.根据权利要求1所述的一种气相外延炉用过滤装置,其特征在于:所述的凸块(8)为圆锥体结构。
5.根据权利要求1所述的一种气相外延炉用过滤装置,其特征在于:所述的挡圈(9)的刨面为三角形结构。
6.根据权利要求2所述的一种气相外延炉用过滤装置,其特征在于:所述的上过滤体(1.1)的底部一侧设有除尘口(11)。
7.根据权利要求1所述的一种气相外延炉用过滤装置,其特征在于:所述的密封垫片(4)和过滤网(5)的两侧均设有配合上固定板(3.1)和下固定板(3.2)使用的安装片(12)。
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