[实用新型]一种液态镓在真空状态下的凝固装置有效
申请号: | 202120532681.1 | 申请日: | 2021-03-15 |
公开(公告)号: | CN215887315U | 公开(公告)日: | 2022-02-22 |
发明(设计)人: | 罗小龙;周铁军;王金灵;易明辉 | 申请(专利权)人: | 广东先导微电子科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/42 | 分类号: | C30B29/42;C30B28/06 |
代理公司: | 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 | 代理人: | 李琼芳;肖小龙 |
地址: | 511517 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 液态 真空 状态 凝固 装置 | ||
1.一种液态镓在真空状态下的凝固装置,用于放置封管,所述封管包括石英帽、石英管,所述石英帽和石英管焊接固定,焊接处形成焊道,所述石英管内有氮化硼舟,所述氮化硼舟置于封管内远离焊道端,其特征在于,所述凝固装置为用于容纳所述封管的凝固管,所述凝固管包括环形管状主体和尾部冷却装置,所述环形管状主体两端开口,冷却套固定在环形管状主体一端,所述环形管状主体另一端为开口处,焊道靠近所述环形管状主体的开口处放置,氮化硼舟置于尾部冷却装置内。
2.如权利要求1所述的一种液态镓在真空状态下的凝固装置,其特征在于,所述尾部冷却装置内温度控制在29℃以下。
3.如权利要求1所述的一种液态镓在真空状态下的凝固装置,其特征在于,所述尾部冷却装置为冷却套。
4.如权利要求3所述的一种液态镓在真空状态下的凝固装置,其特征在于,所述冷却套包括环形冷却套管、内部冷却介质、外部冷却介质储存、泵。
5.如权利要求4所述的一种液态镓在真空状态下的凝固装置,其特征在于,所述冷却介质为冷却水或冷却盐水。
6.如权利要求1所述的一种液态镓在真空状态下的凝固装置,其特征在于,所述冷却套内壁与封管外壁贴合。
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