[实用新型]一种液态镓在真空状态下的凝固装置有效

专利信息
申请号: 202120532681.1 申请日: 2021-03-15
公开(公告)号: CN215887315U 公开(公告)日: 2022-02-22
发明(设计)人: 罗小龙;周铁军;王金灵;易明辉 申请(专利权)人: 广东先导微电子科技有限公司
主分类号: C30B29/42 分类号: C30B29/42;C30B28/06
代理公司: 北京天盾知识产权代理有限公司 11421 代理人: 李琼芳;肖小龙
地址: 511517 广东省*** 国省代码: 广东;44
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 液态 真空 状态 凝固 装置
【权利要求书】:

1.一种液态镓在真空状态下的凝固装置,用于放置封管,所述封管包括石英帽、石英管,所述石英帽和石英管焊接固定,焊接处形成焊道,所述石英管内有氮化硼舟,所述氮化硼舟置于封管内远离焊道端,其特征在于,所述凝固装置为用于容纳所述封管的凝固管,所述凝固管包括环形管状主体和尾部冷却装置,所述环形管状主体两端开口,冷却套固定在环形管状主体一端,所述环形管状主体另一端为开口处,焊道靠近所述环形管状主体的开口处放置,氮化硼舟置于尾部冷却装置内。

2.如权利要求1所述的一种液态镓在真空状态下的凝固装置,其特征在于,所述尾部冷却装置内温度控制在29℃以下。

3.如权利要求1所述的一种液态镓在真空状态下的凝固装置,其特征在于,所述尾部冷却装置为冷却套。

4.如权利要求3所述的一种液态镓在真空状态下的凝固装置,其特征在于,所述冷却套包括环形冷却套管、内部冷却介质、外部冷却介质储存、泵。

5.如权利要求4所述的一种液态镓在真空状态下的凝固装置,其特征在于,所述冷却介质为冷却水或冷却盐水。

6.如权利要求1所述的一种液态镓在真空状态下的凝固装置,其特征在于,所述冷却套内壁与封管外壁贴合。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东先导微电子科技有限公司,未经广东先导微电子科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120532681.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top