[实用新型]一种真空镀膜设备的观察装置有效

专利信息
申请号: 202120534518.9 申请日: 2021-03-15
公开(公告)号: CN214458297U 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 刘伟 申请(专利权)人: 镇江超威纳米科技有限公司
主分类号: C23C14/52 分类号: C23C14/52
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人: 季萍
地址: 212132 江苏省镇江市*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 真空镀膜 设备 观察 装置
【权利要求书】:

1.一种真空镀膜设备的观察装置,包括装置主体,其特征在于:所述装置主体包括设备主体(110),所述设备主体(110)的正面镶嵌有观察窗主体(120),且设备主体(110)的内部转动连接有螺纹杆(210),所述螺纹杆(210)和移动块(211)螺纹连接,且移动块(211)的底端固定连接有镜架(212),所述镜架(212)的底端镶嵌有反射镜(213),所述螺纹杆(210)延伸至设备主体(110)内部的一端固定连接有第一皮带轮(214),且第一皮带轮(214)的外部套设有皮带主体(215),所述皮带主体(215)远离第一皮带轮(214)的一端套设在第二皮带轮(216)的外部,且第二皮带轮(216)和调节杆(217)固定连接,所述调节杆(217)转动连接在设备主体(110)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的观察装置,其特征在于:所述设备主体(110)的正面固定连接有两组导向块(310),两组所述导向块(310)相互靠近的一侧皆开设有滑槽(311),两组所述导向块(310)之间设置有保护板(312),且保护板(312)的两侧皆和滑槽(311)滑动连接,两组所述导向块(310)的内部皆滑动连接有限位销(313),且限位销(313)远离导向块(310)的一端皆嵌入保护板(312)表面开设的凹槽,两组所述限位销(313)和导向块(310)之间皆固定连接有限位弹簧(314),所述设备主体(110)的正面顶端固定连接有套筒(320),且套筒(320)的内部滑动连接有锁定销(321),所述套筒(320)和锁定销(321)之间固定连接有锁定弹簧(322),且锁定销(321)的一端嵌入锁定块(323)的内部,所述锁定块(323)的底端和保护板(312)的顶端固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的观察装置,其特征在于:所述螺纹杆(210)延伸至设备主体(110)外部的一端固定连接有旋钮(218),且旋钮(218)设置为橡胶材质。

4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的观察装置,其特征在于:所述移动块(211)的顶端和导向槽(111)固定连接,且导向槽(111)开设在设备主体(110)内壁的顶端,所述移动块(211)的顶端镶嵌有滚珠。

5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的观察装置,其特征在于:所述反射镜(213)的和观察窗主体(120)之间的夹角设置为四十五度,且反射镜(213)的高度和观察窗主体(120)的高度相同。

6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的观察装置,其特征在于:所述设备主体(110)的内部固定连接有密封板(121),且密封板(121)设置为玻璃材质。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于镇江超威纳米科技有限公司,未经镇江超威纳米科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120534518.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top