[实用新型]一种真空镀膜设备的观察装置有效
申请号: | 202120534518.9 | 申请日: | 2021-03-15 |
公开(公告)号: | CN214458297U | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 刘伟 | 申请(专利权)人: | 镇江超威纳米科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212132 江苏省镇江市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 设备 观察 装置 | ||
1.一种真空镀膜设备的观察装置,包括装置主体,其特征在于:所述装置主体包括设备主体(110),所述设备主体(110)的正面镶嵌有观察窗主体(120),且设备主体(110)的内部转动连接有螺纹杆(210),所述螺纹杆(210)和移动块(211)螺纹连接,且移动块(211)的底端固定连接有镜架(212),所述镜架(212)的底端镶嵌有反射镜(213),所述螺纹杆(210)延伸至设备主体(110)内部的一端固定连接有第一皮带轮(214),且第一皮带轮(214)的外部套设有皮带主体(215),所述皮带主体(215)远离第一皮带轮(214)的一端套设在第二皮带轮(216)的外部,且第二皮带轮(216)和调节杆(217)固定连接,所述调节杆(217)转动连接在设备主体(110)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的观察装置,其特征在于:所述设备主体(110)的正面固定连接有两组导向块(310),两组所述导向块(310)相互靠近的一侧皆开设有滑槽(311),两组所述导向块(310)之间设置有保护板(312),且保护板(312)的两侧皆和滑槽(311)滑动连接,两组所述导向块(310)的内部皆滑动连接有限位销(313),且限位销(313)远离导向块(310)的一端皆嵌入保护板(312)表面开设的凹槽,两组所述限位销(313)和导向块(310)之间皆固定连接有限位弹簧(314),所述设备主体(110)的正面顶端固定连接有套筒(320),且套筒(320)的内部滑动连接有锁定销(321),所述套筒(320)和锁定销(321)之间固定连接有锁定弹簧(322),且锁定销(321)的一端嵌入锁定块(323)的内部,所述锁定块(323)的底端和保护板(312)的顶端固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的观察装置,其特征在于:所述螺纹杆(210)延伸至设备主体(110)外部的一端固定连接有旋钮(218),且旋钮(218)设置为橡胶材质。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的观察装置,其特征在于:所述移动块(211)的顶端和导向槽(111)固定连接,且导向槽(111)开设在设备主体(110)内壁的顶端,所述移动块(211)的顶端镶嵌有滚珠。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的观察装置,其特征在于:所述反射镜(213)的和观察窗主体(120)之间的夹角设置为四十五度,且反射镜(213)的高度和观察窗主体(120)的高度相同。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备的观察装置,其特征在于:所述设备主体(110)的内部固定连接有密封板(121),且密封板(121)设置为玻璃材质。
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