[实用新型]一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片

权利要求书

1.一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，包括检测装置，所述检测装置包括加热电极(117)和信号层(118)，其特征在于：所述加热电极(117)和信号层(118)之间设置有屏蔽漏电流功能层(2)，所述屏蔽漏电流功能层(2)中的一个电极与加热电极(117)的地线相连接。

2.根据权利要求1所述的一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述检测装置还包括参比电极(111)、基板(112)、第一电极(113)、第二电极(114)、第三电极(115)以及第四电极(116)；所述基板(112)上开设有第一腔室(1121)和第二腔室(1122)，所述第一电极(113)设置于所述第一腔室(1121)内，所述第二电极(114)和所述第三电极(115)设置于所述第二腔室(1122)内。

3.根据权利要求2所述的一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述第四电极(116)与所述第一电极(113)、第二电极(114)以及所述第三电极(115)电连接，所述第一电极(113)和所述第四电极(116)用于调节所述第一腔室(1121)内氧气浓度，所述第二电极(114)和所述第四电极(116)用于调节所述第二腔室(1122)内氧气浓度，所述第三电极(115)和所述第四电极(116)用于测量所述第二腔室(1122)内的氧气浓度。

4.根据权利要求3所述的一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述参比电极(111)与所述第一电极(113)和所述第二电极(114)电连接，所述第一电极(113)和所述参比电极(111)用于测量所述第一腔室(1121)内的氧气浓度以控制所述第一电极(113)和所述第四电极(116)对所述第一腔室(1121)内的氧气的调节量，所述第二电极(114)和所述参比电极(111)用于测量所述第二腔室(1122)内的氧气浓度以控制所述第二电极(114)和所述第四电极(116)对所述第二腔室(1122)内的氧气的调节量。

5.根据权利要求4所述的一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述加热电极(117)设置于所述基板(112)内部。

6.根据权利要求5所述的一种带屏蔽层的氮氧传感器芯片，其特征在于：所述基板(112)上还开设有与所述第一腔室(1121)连通的开口(1123)，所述开口(1123)内设置有缓冲障(1124)。