[实用新型]磨抛一体平坦化加工装置

权利要求书

1.磨抛一体平坦化加工装置，包括至少一工件主轴及一组磨具主轴，所述工件主轴及每个磨具主轴连接驱动其自转的机构，所述工件主轴和/或每个磨具主轴连接进给驱动装置，其特征在于：所述工件主轴可移动至与每个所述磨具主轴共轴或轴线平行且相对端面局部重合，每个所述磨具主轴相对所述工件主轴的端面共轴设置磨具，一组所述磨具主轴上的所述磨具为倒角磨具、粗磨或半精磨磨具、精磨磨具、粗抛磨具、半精抛磨具及精抛磨具。

2.根据权利要求1所述的磨抛一体平坦化加工装置，其特征在于：所述倒角磨具、粗磨或半精磨磨具、精磨磨具、粗抛磨具、半精抛磨具及精抛磨具中的至少一个为冰冻磨具。

3.根据权利要求2所述的磨抛一体平坦化加工装置，其特征在于：所述磨具主轴为冰冻主轴，所述主轴体内形成有冰冻流道，所述冰冻流道的进、出口位于主轴体的背向端面且从主轴体的背向端面延伸至主轴体的相对端区域，至少所述相对端区域为非隔热材料；所述主轴体的背向端连接滑环；所述冰冻主轴的滑环连接冷媒供应装置。

4.根据权利要求1所述的磨抛一体平坦化加工装置，其特征在于：一组所述磨具主轴的轴线平行且可由一条与它们轴线垂直的直线连接，所述工件主轴连接驱动其沿所述直线延伸方向往复平移。

5.根据权利要求4所述的磨抛一体平坦化加工装置，其特征在于：所述工件主轴还连接驱动其沿垂直于所述直线及其轴线的方向往复移动。

6.根据权利要求1所述的磨抛一体平坦化加工装置，其特征在于：一组所述磨具主轴呈圆形分布，所述工件主轴连接驱动其绕多个所述主轴所围合成的圆的轴线公转的驱动旋动结构。

7.根据权利要求1所述的磨抛一体平坦化加工装置，其特征在于：所述磨具主轴及工件主轴的数量相同且各自呈圆形等距分布，多个所述磨具主轴围成的圆与多个工件主轴围成的圆共轴，所述磨具主轴和/或工件主轴绕它们围成的圆的轴线公转至所述磨具主轴与工件主轴的位置一一对应。

8.根据权利要求1-7任一所述的磨抛一体平坦化加工装置，其特征在于：每个磨具主轴旁设置有用于对工件主轴上的工件面向磨具的表面进行清洗的清洗装置。

9.根据权利要求1-7任一所述的磨抛一体平坦化加工装置，其特征在于：每个磨具主轴旁设置有用于对工件主轴上的工件面向磨具的表面进行检测的检测装置。

10.磨抛一体平坦化加工装置，包括一工件主轴及一组磨具主轴，所述工件主轴及每个磨具主轴连接驱动其自转的机构，所述工件主轴和/或每个磨具主轴连接进给驱动装置，其特征在于：所述磨具主轴呈圆形等距分布，所述工件主轴与所述磨具主轴围合成的圆共轴，所述工件主轴的直径大于等于所述磨具主轴的轴线围合成的圆的直径；每个所述磨具主轴相对所述工件主轴的端面共轴设置磨具，一组所述磨具主轴上的所述磨具为倒角磨具、粗磨或半精磨磨具、精磨磨具、粗抛磨具、半精抛磨具及精抛磨具。