[实用新型]一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置有效

专利信息
申请号: 202120541955.3 申请日: 2021-03-16
公开(公告)号: CN215296928U 公开(公告)日: 2021-12-24
发明(设计)人: 黄赛琴;黄福仁;陈轮兴 申请(专利权)人: 福建安特微电子有限公司
主分类号: G01N3/04 分类号: G01N3/04
代理公司: 北京喆翙知识产权代理有限公司 11616 代理人: 叶似锦
地址: 351111 福建省莆*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 材料 少数 载流子 寿命 检测 固定 装置
【权利要求书】:

1.一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置,其特征在于:包括底板仓、调节组件和固定组件,所述底板仓为中空腔体结构设置,所述调节组件设于底板仓内,所述固定组件设于调节组件上;所述固定组件包括底座、固定板、连接环、连接杆、驱动环、连接轴、套环、固定轴、驱动杆、限位块、固定电机、螺纹杆、螺纹管和连接块,所述底座对称设于调节组件上,所述固定板为环形结构设置且设于底座上,所述连接环对称设于固定板的对立面上,所述连接杆均匀设于连接环远离固定板的侧面上,所述驱动环连接于连接杆远离固定板的一端,所述连接轴可转动均匀设于驱动环靠近固定板的侧面上,所述套环连接于连接轴,所述固定轴均匀设于固定板靠近连接环的侧面上,所述驱动杆可移动贯穿于套环铰接于固定轴,所述限位块对称设于固定板靠近连接环侧面上且设于连接环的一上方,所述固定电机设于限位块的一侧,所述螺纹杆可转动贯穿于限位块且连接于固定电机输出端,所述螺纹管可移动贯穿于螺纹杆上,所述连接块一端铰接于螺纹管另一端连接于连接块。

2.根据权利要求1所述的一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置,其特征在于:所述调节组件包括驱动电机、固定块、双向丝杠和丝杠副,所述驱动电机设于底板仓内一端,所述固定块设于底板仓内远离驱动电机的一端,所述双向丝杠一端连接于驱动电机输出端且另一端可转动设于固定块内,所述丝杠副可移动套接于双向丝杠上。

3.根据权利要求2所述的一种硅材料少数载流子寿命检测用固定装置,其特征在于:所述驱动杆设有三组。

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