[实用新型]一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器有效
| 申请号： | 202120542697.0 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN214501731U | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 高建锋 | 申请（专利权）人： | 湖州维德光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F24H3/08 | 分类号： | F24H3/08;F24H9/18;F24H9/00;F24H9/20 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 岳野 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市吴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 干燥 工艺 高纯 氮气 加热器 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，包括有石英管，其特征在于：所述石英管顶部连接有进气管，所述石英管上端一侧连接有出气管，所述石英管内安装有螺旋气管，所述螺旋气管顶端与进气管相连通，所述螺旋气管底端敞口于石英管内下端，所述石英管内位于螺旋气管内侧成型有多个加热棒插管，所述加热棒插管顶端延伸出石英管，所述加热棒插管内插设有加热棒。
2.根据权利要求1所述的一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，其特征在于：所述螺旋气管上下端成型有与石英管固定连接的连接杆。
3.根据权利要求1所述的一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，其特征在于：所述进气管处设有温度计和压力计。
4.根据权利要求1所述的一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，其特征在于：所述加热棒插管下端延伸至螺旋气管下方，且加热棒插管下端封口。
5.根据权利要求1所述的一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，其特征在于：所述进气管内径大小为螺旋气管内径大小的1.5倍～3倍。
6.根据权利要求1所述的一种用于硅片干燥工艺的高纯氮气加热器，其特征在于：所述出气管内径大小为螺旋气管内径大小的1.5倍～2倍。
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