[实用新型]一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用精馏装置

权利要求书

1.一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用精馏装置，包括：塔顶冷凝器(1)、精制段(2)、塔釜再沸器(3)，所述精制段(2)的一端连接有塔顶冷凝器(1)，另一端与塔釜再沸器(3)相通，其特征在于，

所述塔釜再沸器(3)包括有热媒进管(31)、换热盘管(32)、热媒出管(35)，所述热媒进管(31)与热媒出管(35)上均设置有新型智能流量计(36)，两个所述新型智能流量计(36)之间设置有对比屏(37)，热媒从所述热媒进管(31)经所述换热盘管(32)从所述热媒出管(35)出来后会在所述新型智能流量计(36)上形成两个数据，所述数据会在所述对比屏(37)上得出差异值。

2.根据权利要求1所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用精馏装置，其特征在于，所述换热盘管(32)为U型管，所述U型管内侧壁及外侧壁均设置有压力传感器(321)。

3.根据权利要求2所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用精馏装置，其特征在于，所述压力传感器(321)为军用压力传感器。

4.根据权利要求1所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用精馏装置，其特征在于，所述塔釜再沸器(53)还包括有反应塔(33)，所述反应塔(33)内部的底部固定有托架(321)，所述托架(321)上活动配合有若干滑轮(332)，所述托架(321)的右侧设置有一弧箍(323)，所述弧箍(323)与所述换热盘管(32)的右侧贴合在一起。

5.根据权利要求1所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用精馏装置，其特征在于，所述反应塔(33)的上方还设置有安全阀(34)。

6.根据权利要求5所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用精馏装置，其特征在于，所述反应塔(33)的一侧设置有法兰盘(38)，所述法兰盘(38)通过一锁紧件(39)与反应塔(33)连接在一起。

7.根据权利要求1所述的一种工业废气回收提纯电子级六氟乙烷用精馏装置，其特征在于，所述对比屏(37)内置有数据处理芯片，所述数据处理芯片还连接有报警器。