[实用新型]一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器

权利要求书

1.一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，包括基底(1)，其特征在于，所述基底(1)表层设有铜引线层(2)和金属敏感层(3)；

所述铜引线层(2)和基底(1)上均带有多个铜引线连接孔，所述金属敏感层(3)由金属沉积在基底(1)上形成，所述金属敏感层(3)连接铜引线层(2)用于测量磁场。

2.根据权利要求1所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，所述金属敏感层(3)采用薄膜沉积金属铋，在基底(1)上形成纳米级别且均匀致密的金属铋薄膜。

3.根据权利要求1所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，采用金属敏感层工装(5)固定于基底(1)表层，采用磁控溅射仪将金属沉积在基底(1)上。

4.根据权利要求1所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，还包括二氧化硅涂层(4)，所述二氧化硅涂层(4)用于将金属敏感层(3)表面封装。

5.根据权利要求1所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，所述基底(1)采用氧化铝陶瓷片。

6.根据权利要求1所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，所述基底(1)表层抛光，抛光度达到8nm以下。

7.根据权利要求1所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，采用磁控溅射仪镀膜形成铜引线层(2)。

8.根据权利要求7所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，还包括铜引线层工装(6)，所述铜引线层工装(6)固定于基底(1)表层，所述铜引线层(2)由磁控溅射仪按照铜引线层工装(6)沉积金属铜制成。

9.根据权利要求1所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，所述金属敏感层(3)由金属沉积形成中心对称的十字结构。

10.根据权利要求1所述的一种用于托卡马克装置磁测量的金属霍尔探测器，其特征在于，所述基底(1)上还带有多个安装孔。