[实用新型]DMD坏点补偿曝光装置有效
| 申请号： | 202120575321.X | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN215986896U | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 刘大有;简志桦;赖建华;陈世勋 | 申请（专利权）人： | 刘大有;赖建华;简志桦;陈世勋 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人： | 朱丽华 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | dmd 补偿 曝光 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种DMD坏点补偿曝光装置，其特征在于，包括有：
一DMD曝光机，其具有复数个构成阵列的微反射镜，该DMD曝光机与DMD控制器的控制端连接，各微反射镜由该DMD控制器控制改变角度；
一电性连接于该DMD曝光机的检测单元，该检测单元的检测接收端与各微反射镜连接，用以检测各微反射镜是否可以反射光线；
一电性连接于该检测单元的光线补偿投射处理器；
该光线补偿投射处理器计算能够进行反射的微反射镜及不能进行反射的微反射镜的移动路径后获取二者移动路径交点，移动路径交点为一补偿位置，该DMD控制器控制该好点在移动到该补偿位置时进行光线补偿投射，当能够进行反射的微反射镜移动到该补偿位置时，该DMD控制器控制该好点以所应施加于该补偿位置的曝光参数进行光线补偿投射。
2.根据权利要求1所述的DMD坏点补偿曝光装置，其特征在于，该检测单元包括有一设有多个感光耦合元件的感光平台，该感光耦合元件用于接收该DMD曝光机向该感光平台的投射光线。
3.根据权利要求1所述的DMD坏点补偿曝光装置，其特征在于，该检测单元包括有一反光平台及一位于该反光平台上方的感光镜头，该反光平台用于接收该DMD曝光机中各微反射镜的反射光线，并将该反射光线反射至该感光镜头，该感光镜头用于检测接收到的光线。
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