[实用新型]一种玻璃晶圆加工用固定夹持装置有效
申请号: | 202120588225.9 | 申请日: | 2021-03-23 |
公开(公告)号: | CN214829916U | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 李长坤;谢永奕;王永 | 申请(专利权)人: | 广东硅峰半导体材料有限公司 |
主分类号: | C03B23/047 | 分类号: | C03B23/047;C03B20/00 |
代理公司: | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人: | 王峰刚 |
地址: | 529000 广东省江门市江*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 玻璃 晶圆加 工用 固定 夹持 装置 | ||
本实用新型涉及玻璃圆加工技术领域,且公开了一种玻璃晶圆加工用固定夹持装置,包括中频炉和牵引装置,所述牵引装置的顶部固定安装有固定杆,所述固定杆的外部活动安装有转动套,所述转动套和固定杆之间活动安装有扭力弹簧,所述中频炉的内部设有石英砣,所述转动套的外部左侧固定安装有位于石英砣外部的夹持环,所述夹持环的顶端固定安装有卡合装置。该玻璃晶圆加工用固定夹持装置,通过设置夹持环由对称设置的半圆弧状夹件组成,并在顶端设有卡合装置,使夹持环夹持稳定,通过设置牵引杆和夹持环与扭力弹簧固定连接,使夹持环便于开合,通过设置固定杆穿过转动套并转动连接,使夹持装置便于与牵引装置进行连接。
技术领域
本实用新型涉及玻璃圆加工技术领域,具体为一种玻璃晶圆加工用固定夹持装置。
背景技术
石英玻璃,是由各种纯净的天然石英熔化制成,而玻璃圆加工,是利用钻穿制备石英砣,然后进一步利用中频炉加热石英砣,在高温软化状态下将石英玻璃拉制呈棒状坯料,经过二次高温熔化,使内在质量得到改善。
在玻璃圆加工中,对中频炉中的石英砣进行拉制使,通常采用牵引装置操作,而牵引装置的固定,采用人工操作夹持,不但费力,且危险,对此提出一种玻璃晶圆加工用固定夹持装置,来解决上述提出的问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种玻璃晶圆加工用固定夹持装置,具备自动夹持,固定效果好等优点,解决了现有的牵引装置,采用人工操作固定,费力且不安全的问题。
(二)技术方案
为实现上述自动夹持,固定效果好的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种玻璃晶圆加工用固定夹持装置,包括中频炉和牵引装置,所述牵引装置的顶部固定安装有固定杆,所述固定杆的外部活动安装有转动套,所述转动套和固定杆之间活动安装有扭力弹簧,所述中频炉的内部设有石英砣,所述转动套的外部左侧固定安装有位于石英砣外部的夹持环,所述夹持环的顶端固定安装有卡合装置,所述转动套的外部右侧固定安装有牵引杆,所述牵引杆的内侧开设有滑槽,所述牵引装置的内壁右侧固定安装有气缸,所述气缸的顶杆上固定安装有连接环,所述连接环的内部固定安装有拉杆,所述拉杆的前后两端活动安装有与滑槽滑动连接的滑块。
优选的,所述拉杆由连杆、横杆和转动连接件组成,横杆和连杆固定连接,横杆的前后两端均固定安装有转动连接件,转动连接件与滑块转动连接。
优选的,所述夹持环和所述牵引杆均与所述扭力弹簧固定连接,所述转动套与扭力弹簧固定连接,且与所述固定杆转动连接。
优选的,所述夹持环由两个对称设置的半圆弧状夹件组成,两个夹件远离所述转动套的一端顶部固定安装有所述卡合装置。
优选的,所述卡合装置由卡槽和卡件组成,卡件和卡槽分别固定安装在两个所述夹持环的顶端,且相对设置。
优选的,所述滑槽的正面开设有活动槽,活动槽的槽宽小于滑槽的槽宽,且转动连接件与活动槽滑动连接。
优选的,所述牵引装置的顶部开设有移动槽,连杆与移动槽滑动连接。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种玻璃晶圆加工用固定夹持装置,具备以下有益效果:
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