[实用新型]一种芯片上表面外观缺陷检测装置有效
申请号: | 202120589848.8 | 申请日: | 2021-03-23 |
公开(公告)号: | CN215179575U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 董长国;王鹏;唐松林 | 申请(专利权)人: | 王唐(苏州)机器人智能科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/95 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 李艾 |
地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 表面 外观 缺陷 检测 装置 | ||
1.一种芯片上表面外观缺陷检测装置,其特征在于:包括相机、光源组和支架,所述支架与所述相机相连,所述光源组包括垂直光源与零度光源,所述垂直光源与所述相机相连,所述垂直光源下方设置有支撑底座,所述零度光源设置于所述支撑底座上,所述相机与所述支架之间设置有多方位调节机构。
2.根据权利要求1所述的一种芯片上表面外观缺陷检测装置,其特征在于:所述支撑底座上设置有限位板,所述限位板上开设有置物槽,所述置物槽位于所述零度光源中间部位。
3.根据权利要求2所述的一种芯片上表面外观缺陷检测装置,其特征在于:所述置物槽四周设置有导向坡面,所述导向坡面向所述置物槽内倾斜。
4.根据权利要求2所述的一种芯片上表面外观缺陷检测装置,其特征在于:所述限位板上设置有螺丝沉头孔,所述螺丝沉头孔与所述置物槽相通。
5.根据权利要求1所述的一种芯片上表面外观缺陷检测装置,其特征在于:所述多方位调节机构包括第一调节机构,所述第一调节机构包括第一丝杆螺母、第一丝杆和第一丝杆固定座,所述第一丝杆固定座与所述支架相连,所述第一丝杆与所述第一丝杆固定座转动连接,所述第一丝杆螺母与所述第一丝杆螺纹连接,所述第一丝杆螺母通过连接条与所述相机相连。
6.根据权利要求5所述的一种芯片上表面外观缺陷检测装置,其特征在于:所述多方位调节机构还包括第二调节机构,所述第二调节机构与所述连接条相连,所述第二调节机构通过连接板与所述相机相连。
7.根据权利要求6所述的一种芯片上表面外观缺陷检测装置,其特征在于:所述多方位调节机构还包括第三调节机构,所述第三调节机构与所述连接板相连,所述第三调节机构通过连接块与所述相机相连。
8.根据权利要求1所述的一种芯片上表面外观缺陷检测装置,其特征在于:所述光源组为环形光源。
9.根据权利要求1所述的一种芯片上表面外观缺陷检测装置,其特征在于:所述垂直光源为白光光源。
10.根据权利要求1所述的一种芯片上表面外观缺陷检测装置,其特征在于:所述零度光源为红光光源。
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