[实用新型]一种镀膜球盘有效
| 申请号： | 202120598180.3 | 申请日： | 2021-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN215328339U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 庞立龙;王志光;申铁龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所;惠州先进能源与材料研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/48;C23C14/35;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 王春霞 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种镀膜球盘，包括一盘体，其特征在于：所述盘体内设有若干同心的流道，所述流道之间设有间距；
所述流道为等间距布置；
所述流道的宽度为金属球直径的1.2～1.5倍，镀膜过程中，所述金属球被约束在所述流道内；
所述流道之间的间隔为所述金属球的直径为0.5～1倍。
2.根据权利要求1所述的镀膜球盘，其特征在于：所述金属球的直径为0.5～15mm。
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