[实用新型]一种延迟器和检测系统有效
申请号: | 202120599095.9 | 申请日: | 2021-03-24 |
公开(公告)号: | CN214308627U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 白园园;马砚忠;陈鲁;张嵩 | 申请(专利权)人: | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/06 | 分类号: | G01B11/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 刘猛 |
地址: | 518110 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 延迟 检测 系统 | ||
1.一种延迟器,其特征在于,至少包括反射面相对设置的第一回射器和第二回射器,所述第二回射器的顶部与所述第一回射器的顶部错位排布;
所述第一回射器至少包括第一反射面和第二反射面,所述第二回射器至少包括第三反射面和第四反射面;并且,所述第三反射面和所述第四反射面反射至所述第一回射器的光线均在所述第二反射面的入射范围内,以便从所述第一反射面入射的光线在所述第一回射器和所述第二回射器之间反射后,仍从所述第一反射面出射。
2.根据权利要求1所述的延迟器,其特征在于,所述第一回射器与所述第二回射器的相对距离可调,以通过调节所述第一回射器与所述第二回射器的相对距离,调节所述延迟器的延迟时间。
3.根据权利要求2所述的延迟器,其特征在于,所述延迟器还包括第一运动装置;所述第一运动装置带动所述第一回射器和/或所述第二回射器运动,以调节所述第一回射器与所述第二回射器的相对距离。
4.根据权利要求1所述的延迟器,其特征在于,所述第一反射面和所述第二反射面垂直,所述第三反射面和所述第四反射面垂直;所述第一回射器和所述第二回射器均由两个反射镜组成。
5.根据权利要求1所述的延迟器,其特征在于,所述第二回射器和所述第一回射器错位的区域具有至少暴露出部分所述第一反射面的开口,入射的光线自所述第一回射器和所述第二回射器错开的开口处入射至所述第一反射面,且出射的光线经所述第一反射面反射后经所述开口射出。
6.根据权利要求1所述的延迟器,其特征在于,所述延迟器还包括双面反射镜,所述双面反射镜为三棱柱状,所述三棱柱状的双面反射镜的两个侧面均为反射面;
所述双面反射镜的一个反射面将沿第二方向传输的入射光反射成沿第一方向传输的入射光,以使所述入射光沿所述第一方向入射至所述延迟器内,所述双面反射镜的另一个反射面将所述延迟器出射的沿第三方向传输的出射光反射成沿第二方向传输的出射光,所述第一方向和所述第二方向垂直,所述第三方向和所述第一方向相反。
7.一种检测系统,其特征在于,包括:
光发射模块,用于产生泵浦光和探测光,并使所述泵浦光照射待测物,在所述待测物中形成声波,所述探测光照射到待测物表面后反射产生信号光;
所述延迟器设置在所述泵浦光或所述探测光的光路上,用于使所述泵浦光和所述探测光之间产生时间延迟,所述延迟器为权利要求1~6任一项所述的延迟器;
探测模块,用于探测所述信号光,并根据所述信号光获取所述待测物的待检测信息。
8.根据权利要求7所述的检测系统,其特征在于,所述光发射模块还包括光调制器和与所述光调制器相连的信号控制器;
所述光调制器用于对所述泵浦光进行调制;
所述信号控制器用于生成控制信号并传输至所述光调制器,以通过所述控制信号控制所述光调制器的调制幅度。
9.根据权利要求8所述的检测系统,其特征在于,所述探测模块包括探测器、解调器和数据处理模块;
所述探测器用于探测所述探测光和泵浦光具有不同延迟时间时形成的信号光,并获得所述信号光的光强随延迟时间变化的检测信号;
所述解调器用于接收所述信号控制器输出的参考信号和所述探测器输出的所述信号光的光强随延迟时间变化的检测信号,根据所述参考信号对所述检测信号进行解调,并将解调后的所述检测信号传输至所述数据处理模块;
所述数据处理模块用于根据所述解调后的检测信号获得所述待测物的检测信息,所述待检测信息包括所述待测物的膜厚、声速和弹性模量。
10.根据权利要求9所述的检测系统,其特征在于,所述数据处理模块用于根据所述信号光的相邻光强峰值或相邻光强低谷值之间的延迟时间差,获取时间周期;
所述检测信息包括待测物的厚度,所述数据处理模块还用于根据所述时间周期和声速获取所述待测物的厚度;或者,
所述检测信息包括待测物的声速,所述数据处理模块还用于根据所述时间周期和待测物厚度,获取所述待测物内的声速。
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