[实用新型]一种方便清理的旋涂设备

权利要求书

1.一种方便清理的旋涂设备，包括旋转单元(1)，其特征在于，所述旋转单元(1)的外侧安装有可拆卸的旋涂腔体单元(2)，且旋转单元(1)固定安装在旋涂腔体单元(2)的内部底端，所述旋转单元(1)和旋涂腔体单元(2)的下端固定安装有排放单元(3)。

2.根据权利要求1所述的一种方便清理的旋涂设备，其特征在于，所述旋转单元(1)包括吸盘(11)、基片定位杆(111)、真空槽(112)、真空孔(113)、定位销槽(114)、支撑杆(12)、定位销(13)、旋转电机(14)和真空泵(15)，所述吸盘(11)上表面边缘处设有基片定位杆(111)，所述吸盘(11)上表面中心处设有真空槽(112)和真空孔(113)，所述吸盘(11)的下端设有定位销槽(114)，所述真空孔(113)与支撑杆(12)连通，所述定位销槽(114)的内部配合安装有定位销(13)，所述支撑杆(12)的下端固定连接有旋转电机(14)，所述旋转电机(14)的下端固定连接有真空泵(15)。

3.根据权利要求2所述的一种方便清理的旋涂设备，其特征在于，所述旋涂腔体单元(2)包括盖板(21)、把手(211)、旋转块(212)、密封条(213)、盆体固定圈(22)、盆体(23)、集液槽(231)、防背溅盘(24)、废液口(25)和支撑块(26)，所述盖板(21)的上表面设有把手(211)，所述盖板(21)的一侧设有旋转块(212)，所述盖板(21)下表面设有密封条(213)，所述密封条(213)的下端紧密贴合有盆体固定圈(22)，所述盆体固定圈(22)的外侧固定安装有盆体(23)，所述盆体(23)中心处呈圆锥状，且支撑杆(12)可穿过盆体(23)中间区域，所述旋转块(212)直接固定在设备壳体上，所述盆体(23)的下方设有一圈集液槽(231)，所述盆体(23)中心圆锥状区域内固定安装有防背溅盘(24)，且位于吸盘(11)的下方，所述集液槽(231)的底部废液口(25)，所述盆体(23)与废液口(25)相对的另一边由支撑块(26)支撑。

4.根据权利要求3所述的一种方便清理的旋涂设备，其特征在于，所述排放单元(3)包括废液收集管(31)、一级过滤阀(32)、废气管道(33)、排风扇(34)、二级过滤阀(35)、废液容器(36)和废液排放阀(37)，所述废液口(25)的下端固定连接有废液收集管(31)，且废液收集管(31)呈Z型，所述废液收集管(31)的中间部分左端固定连接有一级过滤阀(32)，所述一级过滤阀(32)的左端固定连接有废气管道(33)，所述废气管道(33)的左端固定连接有排风扇(34)，所述排风扇(34)的左端固定连接有二级过滤阀(35)，所述废液收集管(31)的底端固定安装有废液容器(36)，所述废液容器(36)的底端固定安装有废液排放阀(37)。