[实用新型]承载装置及检测设备

说明书

本实用新型公开了一种承载装置及检测设备，所述晶圆承载装置包括承载本体与多个限位件，所述多个限位件沿所述承载本体的周侧设置，所述限位件包括支撑柱与限位凸台，所述限位凸台用于避免晶圆在所述晶圆承载装置上发生移动，所述限位凸台包括第一限位面与第二限位面，所述第一限位面与所述第二限位面的夹角为第一夹角，所述第一夹角为锐角。本申请避免由于激光照射在所述限位件上后发生反射，在晶圆的待测面形成光斑，影响晶圆的检测结果的问题。

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种承载装置及检测设备。

背景技术

现在的晶圆检测过程中，激光光源发出的激光照射到晶圆边缘时，边缘用于夹持晶圆的限位件会对光线进行反射，从而导致部分光线反射到晶圆的待测表面，并且形成较大的椭圆形光斑，从而影响晶圆的检测结果。

实用新型内容

本申请实施例提供一种承载装置及检测设备，旨在解决现有技术中，激光照射在所述限位件上后发生反射，在晶圆的待测面形成光斑，影响晶圆的检测结果的问题。

第一方面，本申请提供一种晶圆承载装置，所述晶圆承载装置包括承载本体与多个限位件，所述多个限位件沿所述承载本体的周侧设置，所述限位件包括支撑柱与限位凸台，所述限位凸台用于避免晶圆在所述晶圆承载装置上发生移动，所述限位凸台包括第一限位面与第二限位面，所述第一限位面与所述第二限位面的夹角为第一夹角，所述第一夹角为锐角。

可选的，所述限位凸台远离所述支撑柱的侧一侧表面设有第一缺口。

可选的，所述第一缺口与所述承载本体的吸附面的法线的夹角大于激光在所述承载本体的入射角。

可选的，所述支撑柱靠近所述限位凸台设有第二缺口，所述第二缺口与所述承载本体的吸附面的法线的夹角大于激光在所述承载本体的入射角。

可选的，所述第一夹角的角度范围为15°-45°。

可选的，所述第一缺口与所述承载本体的吸附面的夹角与所述第二缺口与所述承载本体的吸附面的夹角相等。

可选的，所述支撑柱还包括的第三缺口，所述第三缺口的倾斜角度小于所述第二缺口的倾斜角度。

可选的，所述第一限位面与所述第二限位面之间还设有抵接面，所述抵接面的两侧边缘分别于所述第一限位面以及所述第二限位面连接。

可选的，所述限位凸台的高度高于所述支撑柱的高度10mm。

第二方面，本社情还提出一种晶圆检测装置，所述晶圆检测装置包括如上述任一项实施方式所述的晶圆承载装置。

可以看出，在本申请中，所述承载装置包括承载本体及与所述承载本体连接的多个限位件，所述多个限位件沿所述承载本体的周侧设置；所述限位件包括支撑柱与限位凸台，所述支撑柱的一端与所述承载本体连接，另一端与所述限位凸台连接，所述限位凸台包括第一限位面与第二限位面，所述第一限位面与所述第二限位面呈锐角设置。在晶圆检测过程中，激光在检测到晶圆边缘时，激光会照射到限位件会被所述限位件反射，由于所述第一限位面与所述第二限位面呈锐角设置，因此激光在照射到所述第一限位面以及所述第二限位面时，激光被所述第一限位面以及所述第二限位面反射后，传输至其他方向，而不会反射回晶圆表面形成光斑，从而避免由于激光照射在所述限位件上后发生反射，在晶圆的待测面形成光斑，影响晶圆的检测结果的问题。

附图说明

图1是本申请一实施例提供的限位件的结构示意图；

图2是本申请一实施例提供的限位件的另一视角的结构示意图；

图3是本申请一实施例提供的限位件的俯视图；

图4是本申请一实施例提供的承载装置的结构示意图。

图5是本申请另一实施例提供的限位件与配件配合的结构示意图；