[实用新型]一种硅片制绒产线

说明书

本实用新型公开了一种硅片制绒产线，包括按先后工序依次设置的：链式氧化炉，第一链式酸洗机，第一插片机，氧化槽，第一清水槽，制绒槽，第二清水槽，第二插片机，第二链式酸洗机，链式烘干炉。本实用新型在制绒槽前道设置链式氧化炉，可在制绒之前，在链式氧化炉中对硅片进行高温氧化处理，使硅片表面的有机脏污分解，可完全去除硅片表面的有机脏污，可避免因有机脏污残留在硅片表面而使制绒出现白斑、亮点等问题。

技术领域

本实用新型涉及一种硅片制绒产线。

背景技术

光伏发电是太阳能能源利用中最重要的组成部分，它是一种环保的，用之不竭的可再生能源，符合光伏行业高效率、低成本的追求。对于单晶硅电池，表面反射率是影响太阳能电池效率转换的重要因素之一，为降低表面反射率，制绒工艺起到了重要作用。

制绒的目的为在原生硅片表面产生织构以达到陷光作用，从而提高对太阳光的吸收率，进而提高电池的光电转换率。目前市面上的制绒工艺仍为传统的湿法工艺，此法在制绒结束后，硅片上会大概率出现白斑、亮点等问题，这严重影响了产线硅片的直通率，降低了产线效率。

实用新型内容

为解决现有技术的缺陷，本实用新型提供一种硅片制绒产线，包括按先后工序依次设置的：链式氧化炉，第一链式酸洗机，氧化槽，第一清水槽，制绒槽。

优选的，还包括位于制绒槽后道、且按先后工序依次设置的：第二清水槽，第二链式酸洗机，链式烘干炉。

优选的，所述第一链式酸洗机包括按先后工序依次设置的：酸洗区，漂洗区。

优选的，所述第一链式酸洗机的酸洗区设有带液滚轮和喷头，第一链式酸洗机的漂洗区设有滚轮和喷头。

优选的，所述第一链式酸洗机和氧化槽之间还设有第一插片机。

优选的，所述第二链式酸洗机包括按先后工序依次设置的：酸洗区，漂洗区。

优选的，所述第二链式酸洗机的酸洗区设有带液滚轮和喷头，第二链式酸洗机的漂洗区设有滚轮和喷头。

优选的，所述第二清水槽和第二链式酸洗机之间还设有第二插片机。

优选的，所述链式氧化炉内置刚玉轴和加热灯管。

经研究发现，之所以硅片制绒会出现白斑、亮点等问题，主要是因为硅片表面残留有有机脏污。本实用新型在制绒槽前道设置链式氧化炉，可在制绒之前，在链式氧化炉中对硅片进行高温氧化处理，使硅片表面的有机脏污分解，可完全去除硅片表面的有机脏污，可避免因有机脏污残留在硅片表面而使制绒出现白斑、亮点等问题。

但本实用新型的实用新型人经研究发现，为了完全去除硅片表面的有机脏污，链式氧化炉的温度较高（300～800℃），处理时间较长（180～250s），高温氧化处理完成后，硅片表面会形成一层较厚的SiO₂层，该SiO₂层的厚度不小于2nm（该SiO₂层的厚度为2～8nm），该较厚的SiO₂层会影响制绒，不利于制绒。为了防止该较厚的SiO₂层影响制绒，本实用新型在制绒槽前道还设置第一链式酸洗机，可在第一链式酸洗机中对硅片进行酸洗（酸洗采用氢氟酸溶液），使该较厚的SiO₂层完全去除。