[实用新型]一种电子束反射电子的成像系统

说明书

本实用新型公开了一种电子束反射电子的成像系统，包括上位机、成像处理单元、信号处理单元、偏转控制单元和电子束焊接单元，所述上位机与成像处理单元通信连接，成像处理单元与信号处理单元、偏转控制单元通信连接，电子束焊接单元还包括电子枪、真空室、反射电子收集器、工件和工装，所述电子枪设于真空室外，反射电子收集器设于真空室的一端，反射电子收集器与信号处理单元通信连接，工件安装在工装上，并设于真空室的另一端。本电子束反射电子的成像系统，通过模电、数电转化形成清晰真实全方位的工件图形，并且成像图形是以图片的形式呈现在上位机，为制约业界的焊缝自动跟踪技术奠定了基础。

技术领域

本实用新型涉及电子束成像系统技术领域，具体为一种电子束反射电子的成像系统。

背景技术

现有成像系统为以下三种：

1、工件通过真空室观察窗直接观看：工件安装在工装上，放置在真空室，当真空室密闭时，可以通过真空室的观察窗口观察，观察者通过肉眼可以直接看到工件。但是由于观察距离和观察窗口在焊接设备上位置的局限性造成观察到的工件不清晰，同时观察因是肉眼成像，所以结果参与了人的主观因素。此观察方法只适用于对观察结果要求不高的场合。

2、工件通过光学观察系统成像：工件安装在工装上，放置在真空室，当真空室密闭时，可以通过电子束焊接设备的光学观察系统观察到工件。此光学观察系统由反光镜和单筒望远镜(或双筒望远镜)组成。反光镜将工件图形送到望远镜，通过调节望远镜的物镜和目镜，在望远镜末端观察者可通过肉眼看到工件的图形。此方法比直接观察室看到的图形更清晰些，但是因望远镜的放大倍数有限、以及光学系统安装位置都导致工件图形还是不能满足使用者清晰度的要求，同时此方式的观察结果仍然无法避免人为主观因素。

3、工件通过带有CCD相机的光学观察系统：工件安装在工装上，放置在真空室，当真空室密闭时，可以通过电子束焊接设备自带的CCD相机观察。此光学观察系统对工件图像只能实时在相机端显示，虽然减少了人为主观因素，但是成像无法保存，不利于后期的信息提取与分析。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电子束反射电子的成像系统，通过模电、数电转化形成清晰真实全方位的工件图形，并且成像图形是以图片的形式呈现在上位机，因此采用电子束反射电子的成像系统，能够有效地弥补现有三种成像系统的缺陷，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种电子束反射电子的成像系统，包括上位机、成像处理单元、信号处理单元、偏转控制单元和电子束焊接单元，所述上位机与成像处理单元通信连接，成像处理单元与信号处理单元、偏转控制单元通信连接，电子束焊接单元还包括电子枪、真空室、反射电子收集器、工件和工装，所述电子枪设于真空室外，反射电子收集器设于真空室的一端，反射电子收集器与信号处理单元通信连接，工件安装在工装上，并设于真空室的另一端，电子枪上安装偏转线圈，偏转线圈与偏转控制单元通信连接。

所述偏转控制单元由仪表放大器IC1、运算放大器IC2A、运算放大器 IC3、算放大器IC2B、输出电压BU1和输入电压BU2组成，仪表放大器IC1 的2脚、3脚分别连接输入电压信号Z6、B6，仪表放大器IC1的6脚连接串联的电位器R4、电阻R5与电阻R6，同时电阻R5连接继电器K1，电阻R6 连接继电器K2，继电器K1与继电器K2连接电阻R10后，与运算放大器IC2A的3脚连接，运算放大器IC2A的1脚连接串联的电位器R12与电阻R13，同时电阻R13连接运算放大器IC3的2脚，运算放大器IC3的6脚连接电阻R22 与电阻R23，电阻R22连接电阻R34后，与MOS管T3B的G极连接，电阻 R23连接电阻R35后，与MOS管T4B的G极连接，运算放大器IC2A的2 脚连接电阻R44后，与输出电压BU1的3脚连接，算放大器IC2B的6脚连接电阻R40、电阻R39后，与MOS管T4B、MOS管T3B的S极连接，算放大器IC2B的7脚连接电阻R45后，与输入电压BU2的3脚连接。

优选的，所述仪表放大器IC1的型号为INA114AP。