[实用新型]一种具有自动对准测温功能的长晶设备有效
申请号: | 202120617362.0 | 申请日: | 2021-03-26 |
公开(公告)号: | CN214422784U | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨晶创科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;G01J5/00 |
代理公司: | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人: | 荣玲 |
地址: | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 自动 对准 测温 功能 设备 | ||
本实用新型涉及一种具有自动对准测温功能的长晶设备,属于晶体生长技术领域。解决温度测量位置难确定,操作困难的问题。包括红外测温仪、对准装置、线圈、坩埚、石英管和籽晶,红外测温仪通过对准装置设置在石英管的上方,石英管外侧安装线圈,石英管内侧放置坩埚,坩埚上侧安装籽晶;对准装置包括平移板、伸缩支腿、支架、电动推杆、轴承座、丝杆、丝母和电机,支架位于石英管上方,支架具有滑道,伸缩支腿与支架转动连接,伸缩支腿上端与支架滑动连接,电动推杆两端铰接伸缩支腿和支架下侧,伸缩支腿的滑道轴与平移板铰接,平移板上安装丝杆,电机与丝杆连接,电机与平移板连接,丝杆上安装丝母,丝母与红外测温仪连接。操作简便,测温准确。
技术领域
本实用新型涉及一种具有对准测温功能的长晶设备,属于晶体生长技术领域。
背景技术
温度测量是用测温仪器对物体的温度作定量的测量。温度物理量的测度测量实际上是对该物体的某一量,该物理量应该在一定温度范围内随物体温度的变化而作单调的较显著的变化,据物理定律,由该物理量的数值来显示被测物体的温度。温度是晶体制备的主要参数之一,对温度进行测量对晶体的生长质量尤为重要,现阶段长晶设备使用红外测温仪对温度进行监测,其往往需要人工手动调整对准中心,每一次对准无法保证是光源温度最高点的位置,并且会产生微小的误差影响实验结果,操作方式困难,无法保证安全性。
因此,亟需提出一种具有自动对准测温功能的长晶设备,以解决上述技术问题。
实用新型内容
本实用新型研发解决了温度测量位置难确定,操作方式困难的问题。在下文中给出了关于本实用新型的简要概述,以便提供关于本实用新型的某些方面的基本理解。应当理解,这个概述并不是关于本实用新型的穷举性概述。它并不是意图确定本实用新型的关键或重要部分,也不是意图限定本实用新型的范围。
本实用新型的技术方案:
一种具有自动对准测温功能的长晶设备,包括红外测温仪、对准装置、线圈、坩埚、石英管和籽晶,所述红外测温仪通过对准装置设置在石英管的上方,石英管的外侧安装线圈,石英管的内侧放置坩埚,坩埚的上侧安装籽晶;
所述对准装置包括平移板、伸缩支腿、支架、电动推杆、轴承座、丝杆、丝母和电机,所述支架位于石英管的上方,支架的上侧具有滑道,四个阵列布置的伸缩支腿的下端与支架的下侧转动连接,伸缩支腿的上端与支架的滑道通过滑道轴滑动连接,电动推杆的两端分别铰接伸缩支腿和支架的下侧,伸缩支腿上端的滑道轴与平移板铰接,平移板的上侧通过轴承座对称安装有丝杆,电机的输出端与丝杆连接并驱动丝杆,电机与平移板连接,丝杆上安装丝母,丝母与红外测温仪连接。
优选的:所述电机选用步进电机。
优选的:所述电机通过联轴器与丝杆连接。
优选的:所述坩埚和石英管的上侧与红外测温仪对应位置均设置有测温孔。
本实用新型具有以下有益效果:
本装置自动化程度高,通过电机带动丝杆旋转,使丝母带动红外测温仪沿坐标的轴方向的运动,通过电动推杆的伸缩,可以改变伸缩支腿的角度和长度,从而实现其在坐标的X轴方向的运动,在滑道的限位作用下,使红外测温仪的高度不变,即坐标的轴方向不变,使红外测温仪自动达到合适位置(X,Y,Z),测温准确,使红外测温仪对光源的感应实现精准定位;
红外测温仪可自动进行多点测量,将测量值进行比对筛选,得到需要的数值,减少了复杂的操作和误差的增加,提高了安全性,保证了实验的严谨性。
附图说明
图1是一种具有自动对准测温功能的长晶设备的主视图;
图2是对准装置的结构示意图;
图3是图2中A-A剖视图。
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