[实用新型]一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置

权利要求书

1.一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，其特征在于：该装置包括挡板(1)，掩膜版托盘(2)，样品托盘(3)，公转工件盘(4)，角接触轴承(5)，轴承隔垫(6)，自转齿轮(7)，高温弹簧(8)，定位轴套(9)，DN200标准法兰(10)，磁流体A(11)，伺服电机A(12)，焊接波纹管(13)，磁流体B(14)，伺服电机B(15)，光轴A(16)，伺服电机C(17)，丝杠(18)，升降上连接板(19)，光轴B(20)，升降中连接板(21)，升降下连接板(22)，不动轴(23)，固定齿轮(24)，公转轴(25)；其中，所述掩膜版托盘固定设置在样品托盘下方；所述公转工件盘、角接触轴承、轴承隔垫、自转齿轮自下而上同轴依次设置在所述伺服电机A的输出轴上；所述伺服电机A的输出轴设置在定位轴套内；所述高温弹簧的一端与定位轴套连接，另一端固定设置在自转齿轮的上表面；所述自转齿轮与所述固定齿轮啮合连接；所述固定齿轮固定设置在所述不动轴的下端处；所述伺服电机A与磁流体A固定，所述磁流体A固定设置在DN200标准法兰上；所述不动轴的上端固定设置在所述DN200标准法兰的中央轴心处；所述焊接波纹管固定设置在所述不动轴的顶部；所述磁流体A、所述升降下连接板分别固定设置在所述焊接波纹管的左右两侧；所述焊接波纹管的顶部设置有磁流体B，所述磁流体B的一端固定设置有伺服电机B；所述磁流体B的另一端与所述公转轴连接；所述升降下连接板的左右两端垂直设置有相互平行的光轴A、光轴B，沿所述光轴A、光轴B的轴向方向自下而上间隔设置有升降下连接板、升降中连接板、升降上连接板；所述升降中连接板与所述焊接波纹管固定连接；所述升降上连接板的顶部设置有伺服电机C，所述伺服电机C的输出轴上连接有丝杠的一端，所述丝杠的另一端依次穿过所述升降中连接板、升降下连接板；所述挡板固定设置在所述公转轴的底端。

2.根据权利要求1所述的一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，其特征在于：所述磁流体A的结构包括：磁流体外壳A、轴承A、磁液A、转轴A，所述轴承A设置在磁流体外壳A内，所述磁液A设置于磁流体外壳A内；所述轴承A套设在转轴A的一端上，所述转轴A的另一端上设置有凹槽A，所述伺服电机A的输出轴插入所述转轴A的凹槽A中，所述伺服电机A的电机外壳A与磁流体外壳A通过螺钉固定；所述磁流体B的结构包括：磁流体外壳B、轴承B、磁液B、转轴B，所述轴承B设置在磁流体外壳B内，所述磁液B设置于磁流体外壳B内；所述轴承B套设在转轴B的一端上，所述转轴B的另一端上设置有凹槽B，所述伺服电机B的输出轴B插入所述转轴B的凹槽B中，所述伺服电机B的电机外壳B与磁流体外壳B通过螺钉固定。

3.根据权利要求2所述的一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，其特征在于：所述伺服电机A电压220V、额定功率100W、额定电流0.9A、额定扭矩0.32N·m，所述伺服电机B、伺服电机C的电压均为220V、额定功率均为400W、额定电流均为2.6A、额定扭矩均为1.27N·m。

4.根据权利要求3所述的一种多样式、多工位公自转在线更换、无缝掩膜装置，其特征在于：所述磁流体A的磁流体外壳A、轴承A、磁液A、转轴A分别与所述磁流体B的磁流体外壳B、轴承B、磁液B、转轴B的结构相同。