[实用新型]单晶硅棒出炉及运输装置有效
申请号: | 202120631056.2 | 申请日: | 2021-03-29 |
公开(公告)号: | CN214529327U | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 吴超慧;许堃;李安君 | 申请(专利权)人: | 宇泽半导体(云南)有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 江西九驰知识产权代理有限公司 36146 | 代理人: | 李睿 |
地址: | 675000 云南省楚雄彝族*** | 国省代码: | 云南;53 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 单晶硅 出炉 运输 装置 | ||
1.一种单晶硅棒出炉及运输装置,包括工作架(1)、安装在工作架(1)底部的支脚(3)和安装在工作架(1)上的夹持结构,其特征在于:所述夹持结构包括固定板(21)、钢板底座(8)、导向环(9)、一对夹爪(11)、从动齿轮(12)、主动齿轮(13)、电机(14)、承载板(16)和转轴(17),所述固定板(21)的底部与工作架(1)铰接,所述钢板底座(8)固定安装在固定板(21)底部的一侧,所述导向环(9)固定安装在钢板底座(8)的上方固定板(21)上,一对夹爪(11)分别与两根转轴(17)固定连接,两根转轴(17)上固定安装有互相啮合的两个从动齿轮(12),其中一个从动齿轮(12)与安装在承载板(16)的主动齿轮(13)啮合,所述主动齿轮(13)与电机(14)传动连接,所述承载板(16)位于固定板(21)的上端,所述固定板(21)中间设有空腔(20),所述固定板(21)上设有夹爪(11)的一侧设有若干均布的气孔(18),所述固定板(21)上还设有气接头(19),所述支脚(3)上设有横架(6),所述横架(6)上安装有气泵(5),所述气接头(19)通过气管与气泵(5)连接,所述工作架(1)上设有电磁线圈(7),所述电磁线圈(7)与钢板底座(8)位置对应。
2.根据权利要求1所述的单晶硅棒出炉及运输装置,其特征在于:所述夹爪(11)的数量为多对,所述多对夹爪(11)并列安装在固定板(21)一侧,每对夹爪(11)均通过独立的转轴(17)、从动齿轮(12)、主动齿轮(13)和电机(14)控制。
3.根据权利要求2所述的单晶硅棒出炉及运输装置,其特征在于:所述承载板(16)上端面设有把手(15)。
4.根据权利要求3所述的单晶硅棒出炉及运输装置,其特征在于:所述支脚(3)中空设置,中空设置的支脚(3)内安装有可相对支脚(3)上下伸缩的伸缩腿(2),所述伸缩腿(2)上端与工作架(1)固定连接。
5.根据权利要求4所述的单晶硅棒出炉及运输装置,其特征在于:所述支脚(3)的底部安装有万向轮(4)。
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