[实用新型]一种循环吹气式烘干槽

说明书

本实用新型提供了一种循环吹气式烘干槽，包括外槽体和内槽体，外槽体和内槽体均开口朝上且内槽体设置在外槽体的内部，外槽体的开口端与内槽体外壁之间采用密封连接并形成第一腔体，内槽体的开口端设置有槽盖形成第二腔体，内槽体和/或槽盖连接有鼓风泵，槽盖上设置有排湿口，内槽体的侧壁上设置有若干第一进气孔，内槽体底部设置有抽气口，外槽体的底部设置有离心涡轮风机，离心涡轮风机的叶轮位于第一腔体内抽气口的下方。本实用新型提供的循环吹气式烘干槽，采用吹气加吸气的组合，使槽体内形成气流循环，并对气体进行加热，提高烘干效果，缩短烘干时间，同时增加多重过滤，保证槽内的洁净度，防止硅片受到污染。

技术领域

本实用新型涉及一种烘干槽，尤其涉及一种循环吹气式烘干槽。

背景技术

在光伏、半导体领域的产品制作过程中，需要进行清洗和烘干工作，烘干工作通常都是利用烘干槽来完成的。针对硅片的烘干，目前烘干槽的设计是内部放置固定有硅片的花篮，然后从侧面和下面对花篮进行吹风，达到对花篮和硅片的烘干效果。

目前烘干槽普遍存在的问题是烘干效果比较差，烘干时间长或者容易产生二次污染。一般烘不干及烘干时间长主要是花篮底杆部分，水在重力作用下会汇集在底杆上边的齿内和底杆底部，由于目前硅片尺寸越来越大，所用烘干槽体容机也越来越大，槽内单位面积的风量变的非常有限，因此即使烘干时间达到700秒以上底杆仍然会残留大量水滴，并且烘干时间越长硅片越容易静电吸附空气杂质形成表面污染。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有的缺陷，提供一种循环吹气式烘干槽，解决目前烘干槽烘干效果差、烘干时间长、容易产生二次污染的问题。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了如下的技术方案：

一种循环吹气式烘干槽，包括外槽体和内槽体，所述外槽体和内槽体均开口朝上且所述内槽体设置在所述外槽体的内部，所述外槽体的开口端与内槽体外壁之间采用密封连接并形成第一腔体，所述内槽体的开口端设置有槽盖形成第二腔体，所述内槽体和/或槽盖连接有鼓风泵，所述槽盖上设置有排湿口，所述内槽体的侧壁上设置有若干第一进气孔，所述内槽体底部设置有抽气口，所述外槽体的底部设置有离心涡轮风机，所述离心涡轮风机的叶轮位于所述第一腔体内所述抽气口的下方。

进一步地，所述槽盖下端面设置有若干第一进气管，所述第一进气管的下端面设置有若干第二进气孔，所述第一进气管与所述鼓风泵连接。

进一步地，所述内槽体的底部设置有若干第二进气管，所述第二进气管的上端面设置有若干第三进气孔，所述第二进气管与所述鼓风泵连接。

进一步地，所述第二进气管的端部与所述内槽体旋转定位连接。

进一步地，所述鼓风泵的出气路径上设置有外置式加热装置。

进一步地，所述第一腔体内设置有内置式加热装置。

进一步地，所述鼓风泵的进气路径上设置有第一过滤器，所述鼓风泵的出气路径上设置有第二过滤器。

进一步地，所述第一腔体内在所述第一进气孔处设置有第三过滤器。

进一步地，所述外槽体、内槽体、槽盖、叶轮、第一过滤器、第二过滤器、第三过滤器和各连接管路均为塑料材质。

进一步地，所述抽气口处设置有匀流板。

本实用新型一种循环吹气式烘干槽，采用吹气加吸气的组合，使槽体内形成气流循环，并对气体进行加热，提高烘干效果，缩短烘干时间，同时增加多重过滤，保证槽内的洁净度，防止硅片受到污染。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型实施例1的结构示意图；