[实用新型]一种废去光阻液处理过滤装置

权利要求书

1.一种废去光阻液处理过滤装置，包括过滤装置本体(1)，其特征在于：所述过滤装置本体(1)的上端设置有进液口(4)，所述过滤装置本体(1)的内部设置有缓冲条(5)，所述缓冲条(5)的下端设置有组合式滤芯(6)，所述过滤装置本体(1)的外壁开设有清理窗(2)，所述过滤装置本体(1)的下端设置有排液口(7)，所述排液口(7)的四周固定连接有支脚(3)。

2.根据权利要求1所述的一种废去光阻液处理过滤装置，其特征在于：所述组合式滤芯(6)由外框(61)、芯体(62)、卡座(63)、内嵌滑轨(64)组成，所述组合式滤芯(6)的中部设置有外框(61)，所述外框(61)的中部设置有芯体(62)，所述芯体(62)的下端外表面固定连接有卡座(63)，所述外框(61)的下端内表面开设有内嵌滑轨(64)。

3.根据权利要求2所述的一种废去光阻液处理过滤装置，其特征在于：所述芯体(62)的下端通过卡座(63)与内嵌滑轨(64)活动连接，所述外框(61)的前端中部开设有截断口，且截断口的长度小于两组芯体(62)的宽度。

4.根据权利要求1所述的一种废去光阻液处理过滤装置，其特征在于：所述缓冲条(5)为塔式结构，所述组合式滤芯(6)的数量为四组，且每组组合式滤芯(6)均对应一组清理窗(2)，所述清理窗(2)的外表面设置有螺纹封盖。

5.根据权利要求1所述的一种废去光阻液处理过滤装置，其特征在于：所述进液口(4)与排液口(7)的外表面均固定安装有法兰盘。