[实用新型]一种蚀刻液回收处理尾气处理装置

权利要求书

1.一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，包括底座(1)、内部装有处理液的处理罐(2)和水泵(3)，其特征在于，所述处理罐(2)和水泵(3)安装在底座(1)的顶部，所述处理罐(2)的顶部开口处安装有排气管(4)，所述处理罐(2)远离水泵(3)的一侧安装有进液管(5)和排液管(6)，所述进液管(5)位于排液管(6)的上方，所述进液管(5)的另一端延伸至处理罐(2)内腔的底部；

所述处理罐(2)的内部安装有喷淋管(7)，所述喷淋管(7)位于进液管(5)的上方，所述水泵(3)的抽水端与处理罐(2)内腔的底部相连通，所述水泵(3)的排水端安装有供水管(8)，所述供水管(8)的另一端与喷淋管(7)相连通；

所述排气管(4)远离处理罐(2)的一端安装有吸附箱(9)，所述吸附箱(9)的内部设置有可拆卸的活性炭吸附板(10)。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，所述处理罐(2)的顶部设置有排气口且安装有除雾管(11)，所述排气管(4)远离吸附箱(9)的一端与除雾管(11)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，所述除雾管(11)的底部安装有不锈钢丝网。

4.根据权利要求1所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，所述吸附箱(9)的底部开设有开口，所述活性炭吸附板(10)插入到开口内，且通过螺钉与吸附箱(9)紧固。

5.根据权利要求4所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，所述吸附箱(9)内腔的顶部安装有卡块(12)，所述卡块(12)的底部开设有卡槽，所述活性炭吸附板(10)的顶端插入到卡槽内。

6.根据权利要求4所述的一种蚀刻液回收处理尾气处理装置，其特征在于，所述活性炭吸附板(10)的底端安装有垫板，垫板的上表面设置有密封圈，密封圈与吸附箱(9)的开口紧密贴合。