[实用新型]一种定向双流体清洗喷嘴机构及定向双流体清洗装置

权利要求书

1.一种定向双流体清洗喷嘴机构，其特征在于，包括：

双流体清洗喷嘴单元；以及

与所述双流体清洗喷嘴单元固定连接的用于向所述双流体清洗喷嘴单元的冲击区的一侧边缘喷射定向气流的气体定向喷嘴单元。

2.根据权利要求1所述的一种定向双流体清洗喷嘴机构，其特征在于，所述气体定向喷嘴单元的喷射方向与所述双流体清洗喷嘴单元的喷射方向之间具有不小于三十度且为锐角的夹角。

3.根据权利要求1所述的一种定向双流体清洗喷嘴机构，其特征在于，所述双流体清洗喷嘴单元包括双流体发生器、输入端与所述双流体发生器的输出端连接且连通的加速管、以及与所述加速管连接的双流体喷嘴。

4.根据权利要求3所述的一种定向双流体清洗喷嘴机构，其特征在于，所述双流体发生器、所述加速管、所述双流体喷嘴依次同轴连接。

5.根据权利要求1所述的一种定向双流体清洗喷嘴机构，其特征在于，所述气体定向喷嘴单元的输入端用于与干燥气源连通。

6.根据权利要求1所述的一种定向双流体清洗喷嘴机构，其特征在于，所述气体定向喷嘴单元通过同步支架与所述双流体清洗喷嘴单元固定连接。

7.一种定向双流体清洗装置，其特征在于，包括如权利要求1-6中任意一项所述的定向双流体清洗喷嘴机构。

8.根据权利要求7所述的一种定向双流体清洗装置，其特征在于，还包括：

工件承载部，所述工件承载部包括载具、以及用于驱动所述载具在第一水平方向上移动的载具驱动单元；

位于所述工件承载部上方的清洗部，所述清洗部包括所述定向双流体清洗喷嘴机构以及驱动所述定向双流体清洗喷嘴机构在第二水平方向上移动的清洗驱动单元，所述第二水平方向与所述第一水平方向相交。

9.根据权利要求8所述的一种定向双流体清洗装置，其特征在于，所述第一水平方向与所述第二水平方向垂直。

10.根据权利要求8所述的一种定向双流体清洗装置，其特征在于，所述双流体清洗喷嘴单元的喷射方向垂直于所述载具的承载面；所述气体定向喷嘴单元的喷射方向与所述载具的承载面之间具有夹角θ，θ≤60°。