[实用新型]具有高精度的测量设备

权利要求书

1.一种具有高精度的测量设备，其特征在于，包括测量设备本体（100），所述测量设备本体（100）包括：

基台，所述基台包括水平基座（320）与竖直基座，所述水平基座（320）与竖直基座固定连接；

位置获取机构（80），所述位置获取机构（80）固定安装于所述基台上，所述位置获取机构（80）位于所述水平基座（320）的上方，在测量之前，所述位置获取机构（80）获取待测量工件（1）的当前坐标；

传送调节机构（60），所述传送调节机构（60）固定安装于所述水平基座（320）上，待测量工件（1）置于所述传送调节机构（60）上，所述传送调节机构（60）用于根据所述位置获取机构（80）获取的所述坐标调节所述待测量工件（1）相对于所述水平基座（320）的水平姿态；

传感器机构（20），所述传感器机构（20）可固定安装于所述竖直基座上，所述传感器机构（20）位于所述传送调节机构（60）的上方；所述传感器机构（20）包括传感器组件和第一驱动组件（220），所述第一驱动组件（220）安装于所述传感器组件的一侧，所述第一驱动组件（220）与所述竖直基座固定连接；所述传感器组件在所述第一驱动组件（220）的驱动力下根据所述位置获取机构（80）获取的所述坐标绕其中心轴线做旋转运动，以匹配所述传送调节机构（60）上的所述待测量工件（1）的姿态。

2.根据权利要求1所述的具有高精度的测量设备，其特征在于，所述位置获取机构（80）包括相机，在测量之前，通过所述相机对待测量工件（1）进行拍照。

3.根据权利要求1所述的具有高精度的测量设备，其特征在于，所述传送调节机构（60）包括第一传送组件；

所述第一传送组件包括第一传送基台（611）、第一滑轨（612）、第二驱动组件和第一滑块（613），所述第一传送基台（611）固定安装于所述水平基座（320）上，所述第一滑轨（612）与第二驱动组件固定安装于所述第一传送基台（611）上，所述第一滑轨（612）与第一滑块（613）滑动连接，所述待测量工件（1）在所述第二驱动组件的驱动力下跟随所述第一滑块（613）沿所述第一滑轨（612）方向做往复运动。

4.根据权利要求3所述的具有高精度的测量设备，其特征在于，所述传送调节机构（60）包括第二传送组件；

所述第二传送组件包括第二传送基台（621）、第二滑轨（622）、第三驱动组件和第二滑块（623），所述第二传送基台（621）与第一滑块（613）固定连接，所述第三驱动组件与第二滑轨（622）固定安装于所述第二传送基台（621）上，所述第二滑块（623）与第二滑轨（622）滑动连接，所述待测量工件（1）在所述第三驱动组件的驱动力下跟随所述第二滑块（623）沿所述第二滑轨（622）方向做往复运动。

5.根据权利要求4所述的具有高精度的测量设备，其特征在于，所述传送调节机构（60）包括旋转调节组件；

所述旋转调节组件包括调节基台（631）、转子和第四驱动组件，所述调节基台（631）与第二滑块（623）固定连接，所述第四驱动组件固定安装于所述调节基台（631）上，所述转子的一端连接所述第四驱动组件，另一端连接所述待测量工件（1）；所述待测量工件（1）在所述第四驱动组件的驱动力下跟随所述转子做旋转运动。

6.根据权利要求5所述的具有高精度的测量设备，其特征在于，所述测量设备本体（100）还包括固定组件，所述固定组件与所述转子固定连接，所述待测量工件（1）置于所述固定组件上，所述固定组件在所述第四驱动组件的驱动力下跟随所述转子做旋转运动，以调节所述待测量工件（1）在水平方向上的姿态。

7.根据权利要求6所述的具有高精度的测量设备，其特征在于，所述固定组件包括固定基台（710）、真空抽取组件和若干吸盘，所述固定基台（710）与所述转子固定连接，所述真空抽取组件固定安装于所述固定基台（710）内，若干所述吸盘固定安装于所述固定基台（710）上，若干所述吸盘在所述真空抽取组件的作用下吸附所述待测量工件（1），以使得所述待测量工件（1）固定于所述固定基台（710）的表面。

8.根据权利要求1所述的具有高精度的测量设备，其特征在于，所述传感器组件包括传感器（230）、传感器固定座（210）和旋转轴，所述传感器（230）固定安装于所述传感器固定座（210）上，所述传感器固定座（210）的一端与所述第一驱动组件（220）活动连接，另一端与所述旋转轴固定连接。