[实用新型]一种用于检查气浮条风速的装置

说明书

本实用新型公开了一种用于检查气浮条风速的装置，属于玻璃基板检测领域。针对现有无法监控气浮条风速，玻璃基板运输不稳定的问题，本实用新型提供一种用于检查气浮条风速的装置，它包括呈矩形状的外框架，外框架内设有盖板，盖板上设有测量风速的测量机构；外框架的四个转角处均向下设有支撑柱，支撑柱的末端与竖直杆通过斜杆连接，竖直杆呈垂直设置在气浮条中的空腔内，所述空腔为气浮条中四个角处的凸起与气浮条之间形成的空间。本实用新型通过将四个竖直杆设置在气浮条四个空腔内实现外框架在气浮条上的固定，同时通过测量机构对气浮条的风速进行测量，监控气浮条的风速，达到便捷和准确的检测，确保玻璃基板稳定运输，保证玻璃基板的性能良好。

技术领域

本实用新型属于玻璃基板检测技术领域，更具体地说，涉及一种用于检查气浮条风速的装置。

背景技术

玻璃基板作为制造液晶面板不可或缺的上游原材料，对TFT-LCD产业来讲，其重要性不亚于硅晶圆对半导体产业的重要性，而检查机能否维持稳定生产状态，对产线良率及稼动率有很大的影响，气浮条具备气浮与吸附功能，当需要移动玻璃时用气体把玻璃浮起来，防止玻璃下表面与气浮条接触而划伤玻璃。因此气浮条的风速是否稳定则直接影响检查机内玻璃基板传输与检测的稳定性。

如中国专利申请号CN201820024656.0，公开日为2018年8月31日，该专利公开了一种基板玻璃气浮系统，包括鼓风机、第一过滤器和气浮条，所述第一过滤器连接在所述鼓风机的出风口和所述气浮条之间。该专利的不足之处在于：没有对气浮条的风速进行一个监控，容易导致玻璃基板传输不稳定。

又如中国专利申请号CN201620941776.8，公开日为2017年1月25日，该专利公开了及一种气浮装置及玻璃基板传送装置，该气浮装置包括第一架体、至少两根气浮条、气管和至少两个调节模块。所述第一架体用于支撑玻璃基板；所述至少两根气浮条排列设置在所述第一架体的第一端面上；所述气管具有至少两个支管，所述至少两个支管连接至少两根不同的气浮条；所述调节模块设置在所述支管上，用于调节所述支管的气流以调节相应气浮条的供气量。该专利的不足之处在于：虽能有效调节供气量，却缺少监控设备，无效高效工作。

实用新型内容

1、要解决的问题

针对现有无法监控气浮条风速，玻璃基板运输不稳定的问题，本实用新型提供一种用于检查气浮条风速的装置。本实用新型通过将四个竖直杆设置在气浮条四个空腔内实现外框架在气浮条上的固定，同时通过测量机构对气浮条的风速进行测量，监控气浮条的风速，达到便捷和准确的检测，确保玻璃基板稳定运输，保证玻璃基板的性能良好。

2、技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种用于检查气浮条风速的装置，包括呈矩形状的外框架，外框架内设有盖板，盖板上设有测量风速的测量机构；外框架的四个转角处均向下设有支撑柱，支撑柱的末端与竖直杆通过斜杆连接，竖直杆呈垂直设置在气浮条中的空腔内，所述空腔为气浮条中四个角处的凸起与气浮条之间形成的空间。

更进一步的，所述斜杆的一端与支撑柱呈锐角设置，斜杆的另一端与竖直杆呈钝角设置。

更进一步的，测量机构包括风速传感器，以及与风速传感器电连接的显示器。

更进一步的，盖板上还是设置若干个出风口。

更进一步的，竖直杆与空腔接触的一面设有防滑条。

更进一步的，竖直杆与空腔接触的一面设有若干个凸起，空腔内设有若干个凹槽，凸起与凹槽一一对应，且凸起与凹槽的尺寸相匹配。

更进一步的，测量机构设置在盖板的中心位置。

更进一步的，外框架与支撑柱连接处、斜杆与支撑柱连接处、斜杆与竖直杆连接处均设置有加强筋。

3、有益效果