[实用新型]一种硅片夹取装置

权利要求书

1.一种硅片夹取装置，其特征在于，包括安装座(1)，所述安装座(1)上设置有轨道(2)，所述轨道(2)上对称设置有滑块(3)，所述安装座(1)上位于所述轨道(2)两端设置有导轮(4)，所述导轮(4)上设置有传动带(5)，所述滑块(3)上设置有与所述传动带(5)啮合的啮合板(10)，所述安装座(1)上设置有驱动所述导轮(4)旋转的电机(6)，所述滑块(3)上设置有第一安装板(8)和第二安装板(12)，所述第一安装板(8)和所述第二安装板(12)上分别设置有第一吸盘(7)和第二吸盘(9)，所述第一吸盘(7)和第二吸盘(9)上均设置有气源连接口(11)；

所述第一吸盘(7)包括第一盘体(701)，所述第一盘体(701)顶部设置有第一连接孔(702)，所述第一盘体(701)内部设置有与所述第一连接孔(702)连通的第一吸气孔(703)；

所述第二吸盘(9)包括第二盘体(901)，所述第二盘体(901)顶部设置有第二连接孔(902)，所述第二盘体(901)内部设置有与所述第二连接孔(902)连通的第二吸气孔(903)；

所述第一盘体(701)底部间隔设置有第一吸板(704)和第二吸板(705)，所述第一吸板(704)和所述第二吸板(705)之间形成第一卡槽(706)，所述第二盘体(901)底部对应所述第一吸板(704)设置有第二卡槽(904)，所述第二盘体(901)上位于所述第二卡槽(904)下方对应所述第一卡槽(706)设置有第三吸板(905)；当所述第一吸盘(7)和所述第二吸盘(9)相对运动至重合时，能够使得所述第一吸板(704)与所述第二卡槽(904)重合，所述第三吸板(905)与所述第一卡槽(706)重合。

2.如权利要求1所述的一种硅片夹取装置，其特征在于，所述第一吸气孔(703)延伸至所述第一吸板(704)和所述第二吸板(705)上，所述第二吸气孔(903)延伸至所述第三吸板(905)上。

3.如权利要求1所述的一种硅片夹取装置，其特征在于，所述第二安装板(12)上设置有与所述轨道(2)互相垂直的滑动组件(13)，所述第二安装板(12)上设置有驱动所述滑动组件(13)移动的驱动电机(14)。

4.如权利要求1所述的一种硅片夹取装置，其特征在于，所述安装座(1)上设置有传感器(15)。