[实用新型]一种晶片抛光用多层抛光垫有效
| 申请号： | 202120665040.3 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN214559983U | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李加海;谭鸿 | 申请（专利权）人： | 安徽禾臣新材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/22 | 分类号： | B24B37/22;B24B37/26 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 李照 |
| 地址： | 238200 安徽省马鞍山市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 抛光 多层 | ||
【权利要求书】：
1.一种晶片抛光用多层抛光垫，包括基础圆板(1)、护圈(2)、吸灰层(3)、抛光层(4)和隔离网(5)，其特征在于：所述基础圆板(1)、吸灰层(3)和隔离网(5)均位于护圈(2)的内侧，吸灰层(3)的一面侧壁通过粘合剂复合在基础圆板(1)上，吸灰层(3)的另一面侧壁通过粘合剂连接隔离网(5)，隔离网(5)的外表面复合有均匀分布的抛光层(4)。
2.根据权利要求1所述的一种晶片抛光用多层抛光垫，其特征在于：所述吸灰层(3)、抛光层(4)和隔离网(5)均关于基础圆板(1)对称分布。
3.根据权利要求1所述的一种晶片抛光用多层抛光垫，其特征在于：所述隔离网(5)上开设有均匀分布的漏灰孔，隔离网(5)的边缘底边处设有环槽(6)，隔离网(5)和环槽(6)均与护圈(2)的内壁接触连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶片抛光用多层抛光垫，其特征在于：所述护圈(2)与基础圆板(1)的外边缘固定，护圈(2)的内壁与吸灰层(3)接触。
5.根据权利要求1所述的一种晶片抛光用多层抛光垫，其特征在于：所述吸灰层(3)呈蜂窝状，吸灰层(3)的厚度值大于基础圆板(1)的厚度值。
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