[实用新型]一种气体传感器

权利要求书

1.一种气体传感器，其特征在于：包括基板(1)、石墨烯层(2)、金属电极对、金属氧化物层(4)；所述基板(1)、所述石墨烯层(2)和所述金属电极对由下至上依次设置；一个所述金属电极对包括两个金属电极(3)，一个所述金属电极对的两个金属电极(3)之间的区域为沟道；

在所述沟道处的石墨烯层(2)设有间隙槽(5)，使位于所述沟道处的所述石墨烯层(2)断开，形成石墨烯电极对；所述金属氧化物层(4)位于所述沟道处，且覆盖在所述石墨烯电极对以及所述间隙槽(5)上，以连接所述石墨烯电极对；所述金属氧化物层(4)的面积小于所述沟道的面积，以使所述沟道内具有未被所述金属氧化物层(4)覆盖而裸露的所述石墨烯层(2)。

2.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于：所述基板(1)包括硅衬底(101)和二氧化硅层(102)；所述二氧化硅层(102)设于所述硅衬底(101)上，所述石墨烯层(2)设于所述二氧化硅层(102)的上方。

3.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于：所述石墨烯电极对为石墨烯叉指电极对；一个所述石墨烯叉指电极对包括两个梳状的、相互交错的石墨烯叉指电极。

4.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于：所述金属氧化物层(4)包括为钛或铜的自然氧化物层。

5.根据权利要求2所述的气体传感器，其特征在于：还包括底电极(7)；所述二氧化硅层(102)局部镂空，所述二氧化硅层(102)的镂空区域内设有与硅衬底(101)接触的金属电极(3)，形成所述底电极(7)。

6.根据权利要求1所述的气体传感器，其特征在于：所述金属电极(3)的横截面形状为矩形。

7.根据权利要求6所述的气体传感器，其特征在于：所述金属电极对接近所述基板(1)的一侧为铬层(302)，远离所述基板(1)的一侧为金层(301)。

8.根据权利要求7所述的气体传感器，其特征在于：所述铬层(302)的厚度为3～8nm，所述金层(301)的厚度为6～10nm。

9.根据权利要求8所述的气体传感器，其特征在于：所述沟道的宽度，即一个所述金属电极对中的两个金属电极(3)的间距为1.5～2mm。

10.根据权利要求8所述的气体传感器，其特征在于：所述铬层(302)的厚度为8nm，所述金层(301)的厚度为8nm。