[实用新型]一种用于平板显示器的化学气相沉积设备有效
申请号: | 202120699361.5 | 申请日: | 2021-04-06 |
公开(公告)号: | CN215103539U | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 陈丹阳 | 申请(专利权)人: | 南京博珏轩智能科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/44 | 分类号: | C23C16/44;B08B1/00 |
代理公司: | 上海氦闪专利代理事务所(普通合伙) 31354 | 代理人: | 李明;袁媛 |
地址: | 211039 江苏省南京市雨花台区西善桥街*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 平板 显示器 化学 沉积 设备 | ||
1.一种用于平板显示器的化学气相沉积设备,包括机体(1),其特征在于:所述机体(1)外壁设置有第一合页(2),且第一合页(2)一侧设置有清理门(3),所述清理门(3)内壁设置有活动块(4),且活动块(4)一侧设置有活动钩(5),所述活动钩(5)一侧设置有密封圈(6),且密封圈(6)下方设置有橡胶软垫(7),所述橡胶软垫(7)一侧设置有固定螺栓(8),且固定螺栓(8)一侧设置有滑轨(9),所述滑轨(9)内部均设置有滑轮(10),且滑轮(10)一侧设置有抽屉(11),所述抽屉(11)一侧设置有卡槽(12),且卡槽(12)内侧设置有卡块(13),所述卡块(13)一侧设置有支撑板(14),且支撑板(14)上方设置有显示屏(15),所述显示屏(15)一侧设置有滑槽(16),且滑槽(16)内部设置有滑块(17),所述滑块(17)一侧设置有连接块(18),且连接块(18)一侧设置有转轴(19),所述转轴(19)一侧设置有清理刷(20),且清理刷(20)上方设置有第二合页(21),同时第二合页(21)下方设置有防护壳(22)。
2.根据权利要求1所述的一种用于平板显示器的化学气相沉积设备,其特征在于:所述清理门(3)、第一合页(2)与机体(1)构成旋转结构,且机体(1)的尺寸大于清理门(3)的尺寸。
3.根据权利要求1所述的一种用于平板显示器的化学气相沉积设备,其特征在于:所述密封圈(6)通过活动钩(5)与清理门(3)活动连接,且活动钩(5)以密封圈(6)的中轴线对称设置。
4.根据权利要求1所述的一种用于平板显示器的化学气相沉积设备,其特征在于:所述橡胶软垫(7)通过固定螺栓(8)与机体(1)螺纹连接,且固定螺栓(8)以橡胶软垫(7)的中轴线对称设置。
5.根据权利要求1所述的一种用于平板显示器的化学气相沉积设备,其特征在于:所述抽屉(11)、滑轮(10)与滑轨(9)构成滑动结构,且滑轮(10)在滑轨(9)内部呈等间距分布。
6.根据权利要求1所述的一种用于平板显示器的化学气相沉积设备,其特征在于:所述支撑板(14)通过卡块(13)与机体(1)卡合连接,且机体(1)与支撑板(14)平行分布。
7.根据权利要求1所述的一种用于平板显示器的化学气相沉积设备,其特征在于:所述防护壳(22)、第二合页(21)与显示屏(15)构成旋转结构,且显示屏(15)的尺寸与防护壳(22)的尺寸相吻合。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的