[实用新型]MEMS振动传感器

说明书

本实用新型涉及一种MEMS振动传感器。所述MEMS振动传感器使用具有嵌入其中的电气隔离的金属结构的检验质量块。在一个实现方式中，检验质量块通过弹性结构从(从基底延伸的)锚悬挂。在另一实现方式中，检验质量块由弹性结构从(基底中的)凹部的边缘悬挂。嵌入的金属结构提供了额外的质量，而没有检验质量块的尺寸的任何增加。金属结构可以是例如未被使用且未被(电)连接到任何其它的硅通孔(TSV)。

技术领域

本实用新型涉及MEMS振动传感器，特别是具有带嵌入的金属结构的检验质量块的振动传感器。

背景技术

微机电系统(MEMS)振动传感器通常使用悬挂在传感器内部的检验质量块。传感器的充分振动导致检验质量块移动，并且这种移动产生随后被解读为振动的信号。

实用新型内容

根据一个方面，提出一种MEMS振动传感器，所述MEMS振动传感器包括：基底；锚，所述锚从所述基底延伸；以及检验质量块，所述检验质量块由多个弹性结构从所述锚悬挂，其中，所述检验质量块具有嵌入在该检验质量块中的多个电气隔离的金属结构。

所述检验质量块具有孔，所述多个弹性结构中的每一个在一端上附接到所述锚并且在另一端上附接到所述孔的边缘。

所述多个电气隔离的金属结构中的每一个是金属柱。

所述多个电气隔离的金属结构中的每一个延伸穿过所述检验质量块的整个厚度。

所述多个电气隔离的金属结构中的每一个从第一表面延伸到第二表面。

所述多个电气隔离的金属结构中的每一个从所述检验质量块的顶表面延伸，但不延伸穿过所述检验质量块的整个厚度。

所述振动传感器还包括金属层，所述金属层跨所述检验质量块的顶表面延伸。

所述多个电气隔离的金属结构中的每一个连接到所述金属层。

所述检验质量块是硅材料的板，并且所述多个电气隔离的金属结构中的每一个被嵌入在所述硅材料内。

所述多个电气隔离的金属结构中的每一个由钨制成。

所述多个电气隔离的金属结构中的每一个由铜制成。

所述多个电气隔离的金属结构中的每一个是未被连接且未被使用的硅通孔。

所述多个弹性结构中的每一个是弹簧。

根据另一方面，提出一种MEMS振动传感器，所述MEMS振动传感器包括：基底，所述基底具有凹陷部分；以及检验质量块，所述检验质量块由多个弹性结构从所述凹陷部分的壁悬挂，其中，所述检验质量块具有嵌入该检验质量块中的多个电气隔离的金属结构。

附图说明

结合附图，根据以下描述和所附权利要求，本公开的特征将变得更加完全显而易见。这些附图仅描绘了根据本公开的若干实施方式，并且因此不应被认为是对其范围的限制。

图1是根据本公开的检验质量块的可能实现方式的立体图。

图2是根据本公开的振动传感器的可能实现方式的侧视横截面图。

图3是根据本公开的检验质量块的另一可能实现方式的立体图。

图4是根据本公开的振动传感器的另一可能实现方式的侧视横截面图。

图5A、图5B和图5C示出了根据本公开的用于检验质量块的嵌入的金属结构的不同的可能构造。

具体实施方式