[实用新型]可换液的声悬浮抛光设备

说明书

本实用新型涉及研磨抛光技术领域，公开了一种可换液的声悬浮抛光设备，包括机架、脉冲电源、超声换能器、超声反射端、用于存放抛光液的容器、出液管、进液管、可控制抛光液流通和停滞的第一电磁阀、存放有抛光液的储液箱、用于夹持待加工工件的夹具、用于调整超声反射端与超声换能器之间距离的调谐机构。通过上述技术方案的设置，在抛光的过程中打开第一电磁阀，工件被抛光所掉落的颗粒物质混合着抛光液流出液管流出，新的抛光液通过进液管进入容器中，从而使得容器中的抛光液保持纯净，从而能够稳定维持抛光效果。在非抛光的过程中打开第一电磁阀即可更换容器中的抛光液，操作方便。

技术领域

本实用新型涉及研磨抛光技术领域，具体地涉及一种可换液的声悬浮抛光设备。

背景技术

高质量的试样制备技术是纳米力学表征的物理基础，在仪器化纳米力学测试过程中，任何因试样制备附加的机械损伤、污染、氧化等缺陷都将造成测试数据的偏差，甚至获得错误的结果，无法成为纳米器件、纳米材料的设计依据。因此，基于对试样制备的严格要求，针对纳米力学试样的制备特点产生了一种新型软性接触的流体抛光方法：声悬浮抛光。利用声压波节场外的压力场作用，促使抛光液中的游离磨粒沿着声压场轨迹高速运动，磨粒在工件表面垂直冲击、水平方向翻滚运动实现原子级材料去除加工和应力松弛效应。

CN101344468B公开了一种纳米力学表征试样的声悬浮抛光设备，包括机架、脉冲电源、用于夹持待加工工件的夹具、超声换能器、用于存放抛光液的容器、超声反射端以及用于调整超声波反射端与超声换能器之间距离的调谐机构，所述超声换能器、容器以及调谐机构均安装在机架上方，所述脉冲电源与所述超声换能器连接，所述容器位于所述超声换能器的下方，所述夹具位于所述容器的上方，所述夹具与带轮传动机构连接，所述超声波反射端位于容器下方，所述超声波反射端与所述超声换能器配合，所述超声反射端与所述调谐机构连接。

在利用超声波促使抛光液磨粒冲击工件表面的过程中，工件的表面会掉落大量颗粒物质，悬浮在抛光液中，并且与抛光液的游离磨粒混合，降低抛光液中磨粒的纯净度，从而影响抛光液的性能，降低工件的抛光效果。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种可换液的声悬浮抛光设备，该实用新型能够解决现有技术中存在的容器更换溶液不方便所导致的抛光效果降低的问题。

为了实现上述目的，本实用新型提供一种可换液的声悬浮抛光设备，包括机架、脉冲电源、超声换能器、超声反射端、用于存放抛光液的容器、出液管、进液管、可控制抛光液流通和停滞的第一电磁阀、存放有抛光液的储液箱、用于夹持待加工工件的夹具、用于调整超声反射端与超声换能器之间距离的调谐机构；

所述超声换能器、所述容器、调谐机构均安装在所述机架上，所述脉冲电源与所述超声换能器电连接，所述夹具位于所述容器的上方，所述容器位于所述超声换能器的下方，所述超声反射端位于所述容器下方，所述超声反射端与所述调谐机构连接，所述超声反射端与所述超声换能器配合；

所述容器的上端与进液管连通，所述容器的下端与出液管连通，所述第一电磁阀设置在所述出液管上，所述储液箱与进液管连通，所述储液箱所设置的位置高于所述容器。

通过上述技术方案的设置，在抛光的过程中打开第一电磁阀，工件被抛光所掉落的颗粒物质混合着抛光液流出液管流出，新的抛光液通过进液管进入容器中，从而使得容器中的抛光液保持纯净，从而能够稳定维持抛光效果。在非抛光的过程中打开第一电磁阀即可更换容器中的抛光液，操作方便。

进一步地，所述可换液的声悬浮抛光设备还包括可改变倾斜角度的隔板、第一电磁铁、第二电磁铁；

所述隔板位于所述容器内，且其形状与所述容器的内部空间横截面形状相适应，所述隔板的一侧壁与所述容器远离所述第一电磁阀的侧壁铰接，所述隔板的另一侧壁上具有铁磁材料，所述第一电磁铁和所述第二电磁铁分别设置在所述容器靠近所述隔板的铁磁材料的侧壁上。