[实用新型]一种基于线光谱共焦传感器的测量装置

说明书

本实用新型公开了一种基于线光谱共焦传感器的测量装置，包括机架，设于机架上的龙门平台，设于龙门平台上的双轴运动单元和Z轴直线运动模组，以及载物台和线光谱共焦传感器。龙门平台包括安装台面及龙门横梁，龙门横梁下方形成龙门开口，Z轴直线运动模组固设于龙门横梁上，线光谱共焦传感器与Z轴直线运动模组固定连接以沿Z轴移动。双轴运动单元包括X轴直线运动模组，固设于X轴直线运动模组上且与X轴直线运动模组相垂直的Y轴直线运动模组，以使得载物台在X轴直线运动模组与Y轴直线运动模组的驱动下沿X方向或Y方向往返通过龙门开口。本测量装置可解决半导体产品中的3D缺陷检测的问题，同时可实现高精度的3D形貌测量。

技术领域

本实用新型涉及激光测量技术领域，尤其是涉及一种基于线光谱共焦传感器的测量装置。

背景技术

随着智能制造的发展，生产过程中对于零部件品质的要求越来越高，零部件的段差、平整度、厚度、尺寸、部件缺失的智能检测被越来越广泛的应用。检测方法包括：人工检测、点激光检测、2D视觉检测以及激光三维轮廓检测，上述检测方法均对应有用于零部件品质检测的智能检测系统，其中，基于激光三维轮廓测量仪的激光三维轮廓智能检测系统因激光自身的优点以及系统重复性高等优点，已成为零部件品质检测的主流检测系统。

然而，目前在半导体行业的纳米级测量无法采用2D检测，而采用现有激光三维轮廓检测对于微小纳米级尺寸的3D形貌检测不够精确，也无法实现缺陷缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服上述技术不足，提出一种基于线光谱共焦传感器的测量装置，解决对半导体产品的3D缺陷检测的技术问题。

为达到上述技术目的，本实用新型的技术方案提供一种基于线光谱共焦传感器的测量装置，包括机架，设于所述机架上的龙门平台，设于所述龙门平台上的双轴运动单元和Z轴直线运动模组以及设于所述双轴运动单元上的载物台和设于Z轴直线运动模组上的线光谱共焦传感器；

所述龙门平台包括一安装台面以及架设于所述安装台面上的龙门横梁，所述龙门横梁下方形成有龙门开口，所述安装台面长度及宽度方向分别为Y轴方向和X轴方向，垂直所述安装台面方向为Z轴方向；

所述Z轴直线运动模组固定安装于所述龙门横梁上，所述线光谱共焦传感器与所述Z轴直线运动模组的Z轴滑块固定连接以在所述Z轴直线运动模组的驱动下沿Z轴移动，从而调节所述线光谱共焦传感器与所述载物台的间距；

所述双轴运动单元包括X轴直线运动模组，固设于X轴直线运动模组上且与X轴直线运动模组相垂直的Y轴直线运动模组，所述X轴直线运动模组与所述安装台面固定连接，所述X轴直线运动模组具有沿X轴方向滑动的X轴滑块，所述Y轴直线运动模组具有沿Y轴方向滑动的Y轴滑块，所述Y轴直线运动模组固设于所述X轴滑块上，所述载物台与所述Y轴滑块固定连接，以使得所述载物台在所述X轴直线运动模组与所述Y轴直线运动模组的驱动下沿X方向或Y方向往返通过所述龙门开口。

优选地，所述龙门横梁包括间隔设置于所述安装台面上的两立柱以及跨设于两所述立柱上的顶部横梁；所述X轴直线运动模组沿所述X轴方向的一侧与所述立柱间隔设置以形成一线路滑动区域，所述Y轴直线运动模组沿Y轴方向设置有第一线路引导单元，所述X轴直线运动模组沿X轴方向设置有第二线路引导单元，所述Y轴直线运动模组引出的电路连接线依次穿设于第一线路引导单元、第二线路引导单元。

优选地，所述安装台面靠近立柱的所述线路滑动区域的安装台面上开设有走线开口，所述穿过第二线路引导单元的电路连接线经由线路滑动区域的走线开口与外部连接。

优选地，所述顶部横梁呈一立式长方形面板，所述长方形面板经由若干连接件与所述Z轴直线运动模组相连接，所述线光谱共焦传感器经由一安装板固设于所述Z轴直线运动模组上，所述线光谱共焦传感器与安装板通过若干连接件紧固，所述安装板与Z轴直线运动模组通过若干连接件紧固。

优选地，所述机架经由多个隔震垫与所述安装台面相连接。