[实用新型]一种真空探针台

权利要求书

1.一种真空探针台，其特征在于：包括安装台和设置在安装台上的底板，所述安装台上设有有毒气体检测装置，所述底板上设有真空腔体、探针座、显微镜安装调节架以及分别用于进行电学检测和光学检测的电学检测机构和光学检测机构，所述探针座围绕真空腔体周向设有多个，所述显微镜安装调节架上设有显微镜；

所述真空腔体连接有与外部连通的抽真空管道，所述真空腔体包括同轴嵌套设置的外腔体和内腔体，所述外腔体和内腔体之间为保温腔，所述外腔体与内腔体一一对应设有外探测孔和内探测孔，相对应的外探测孔和内探测孔构成探测孔，所述内腔体内设有载物台，所述载物台的高度与探测孔的高度相适应，所述载物台上设有加热模块和温度传感器，所述载物台内设有冷源循环通道，所述冷源循环通道的两端分别通过管道连接至真空腔体的外部；

所述探针座上设有安装座，所述安装座上设有移动杆，所述移动杆上设有探针夹具，所述探针夹具上设有探针，所述探针座上设有波纹管，所述波纹管的端部与外探测孔处设置的延伸管密封连接，所述移动杆沿着波纹管的长度方向延伸穿过探测孔后位于载物台的上方。

2.根据权利要求1所述的一种真空探针台，其特征在于：所述探针座为三维移动座。

3.根据权利要求2所述的一种真空探针台，其特征在于：所述三维移动座包括设置在底板上的基座，设置在基座上的X向移动机构、设置在X向移动机构上的Y向移动机构和设置在Y向移动机构上的Z向移动机构，所述X向移动机构包括设于基座上的底座、设于底座上的中座、与底座转动连接的第一丝杆和与第一丝杆螺纹连接的第一螺母，所述Y向移动机构包括设于中座上的上座、与中座转动连接的第二丝杆和与第二丝杆螺纹连接的第二螺母，所述Z向移动机构包括设于上座一侧的侧座、与上座转动连接的第三丝杆和与第三丝杆螺纹连接的第三螺母，所述底座与中座之间设有第一交叉滚子导轨，所述中座与上座之间设有第二交叉滚子导轨，所述上座与侧座之间设有第三交叉滚子导轨；

所述第一丝杆的长度方向与第一交叉滚子导轨的长度方向平行，所述底座上设有第一移动槽，所述第一螺母位于第一移动槽内，所述第一螺母与中座固定连接；所述第二丝杆的长度方向与第二交叉滚子导轨的长度方向平行，所述中座上设有第二移动槽，所述第二螺母位于第二移动槽内，所述第二螺母与上座固定连接；所述第三丝杆的长度方向与第三交叉滚子导轨的长度方向平行，所述上座上设有第三移动槽，所述第三螺母位于第三移动槽内，所述第三螺母与侧座固定连接，所述安装座安装在侧座上。

4.根据权利要求1所述的一种真空探针台，其特征在于：所述内腔体的内底壁上设有支撑柱，所述载物台安装在支撑柱的上端。

5.根据权利要求1所述的一种真空探针台，其特征在于：所述内腔体的内底壁内设有冷源连通道，所述冷源循环通道的出口端通过第一管道与冷源连通道的入口端连接，所述冷源连通道的出口端通过第二管道连接至真空腔体的外部。

6.根据权利要求5所述的一种真空探针台，其特征在于：所述内腔体内设有连接管，所述连接管的一端为封堵端，该连接管的另一端为连接端，所述第二管道与连接管连通，所述冷源循环通道的入口端连接有冷源进入管道，所述冷源进入管道穿过连接管的外壁并沿着连接管的长度方向向连接端延伸并伸出连接端。

7.根据权利要求6所述的一种真空探针台，其特征在于：所述连接端设有连接法兰。

8.根据权利要求1所述的一种真空探针台，其特征在于：所述抽真空管道设置在外腔体的底部，所述底板和安装台上均设有连通孔，所述抽真空管道自连通孔引出。

9.根据权利要求1所述的一种真空探针台，其特征在于：所述外腔体的上端设有密封盖，所述密封盖上设有观察窗，所述内腔体的上端设有与观察窗对应的观察口。

10.根据权利要求9所述的一种真空探针台，其特征在于：所述有毒气体检测装置有两个且分别设置在安装台的两侧，所述显微镜安装调节架位于两个有毒气体检测装置之间，所述显微镜位于观察窗的上方。