[实用新型]制备一氧化硅用卧式真空炉

权利要求书

1.制备一氧化硅用卧式真空炉，包括卧式炉体(1)，其特征在于，卧式炉体(1)内设有用于对制备一氧化硅的原料进行高温加热的真空加热机构(2)以及对一氧化硅产物进行收集、冷却的冷却收集机构(3)；真空加热机构(2)包括加热室(21)，加热室(21)从外到内依次设有保温区(22)、加热区(23)、旋转腔室(24)，旋转腔室(24)适配安装于加热室(21)的内腔且可绕加热室(21)的轴心旋转，加热室(21)靠近冷却收集机构(3)的一侧底部通过排料阀(25)可与冷却收集机构(3)连通。

2.根据权利要求1所述的制备一氧化硅用卧式真空炉，其特征在于，所述旋转腔室(24)的两侧外壁与加热室(21)的内壁之间无间隙，旋转腔室(24)的轴心贯穿设有转动轴(26)，转动轴(26)的一端贯穿加热室(21)，另一端贯穿至卧式炉体(1)外并通过联轴器(27)连接有差速电机(28)。

3.根据权利要求2所述的制备一氧化硅用卧式真空炉，其特征在于，所述旋转腔室(24)的腔体内环形阵列分布有若干个筛网(241)，筛网(241)的截面形状为扇形。

4.根据权利要求3所述的制备一氧化硅用卧式真空炉，其特征在于，所述筛网(241)的两端通过设于旋转腔室(24)两侧的固定板(242)卡合固定，筛网(241)的筛孔粒径为1～10mm。

5.根据权利要求1所述的制备一氧化硅用卧式真空炉，其特征在于，所述加热室(21)远离冷却收集机构(3)的一侧顶部可通过气阀(30)连通有伸出卧式炉体(1)外的真空管(29)。

6.根据权利要求1所述的制备一氧化硅用卧式真空炉，其特征在于，所述加热区(23)内设有多个环形的加热圈(231)，加热圈(231)的材质为钼、钨或钼钨合金。

7.根据权利要求1-6任一项所述的制备一氧化硅用卧式真空炉，其特征在于，所述卧式炉体(1)的顶部设有循环水箱(4)，冷却收集机构(3)包括收集腔(31)，收集腔(31)通过收集管(32)与排料阀(25)连通，收集腔(31)的外围设有夹套层(33)，夹套层(33)内设有螺旋状的循环冷却管(34)，循环冷却管(34)的两端均与循环水箱(4)连通。