[实用新型]载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台

说明书

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，具体是载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，包括圆台和压盖。圆台上设有载样网放置孔、工具水平(竖直)进出槽、定位凹槽(下部嵌有磁性圆棒)；压盖上设有盖板、定位凸台、磁性圆棒(竖直嵌入定位凸台内部)和观察孔，定位凸台与定位凹槽插入配合并利用两磁性圆棒的引力，将圆台与压盖连接在一起。本实用新型的压盖可对载样网的圆周边进行准确遮挡，观测孔的直径小于载样网，样品台移动过程中载样网不会脱落，不需要使用导电胶带(水)，且不影响对样品的观测效果，利用工具水平(竖直)进出槽可方便快捷取放载样网，降低了操作难度，提高了科研效率。

技术领域

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，特别是载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台。

背景技术

扫描电子显微镜扫描电镜是一种现代材料分析中的重要仪器，它具有放大倍数可调范围宽、成像分辨率高、景深大等特点，广泛应用于冶金学、材料学、生物学、医学等领域，促进了各有关学科的迅速发展。样品台是扫描电镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子系统成像表征样品的特征。由于扫描电镜自身结构特点，待观测的试样需要稳定地安置于样品台上，且被观测表面要垂直于电子束的入射方向。

在科研和生产过程中，技术人员普遍遇到了下述问题：在观察微粉体样品表面形貌时，尤其是微米级、亚微米级、纳米级粉体颗粒，如果将粉体直接固定在导电胶带上进行观察，粉体团聚严重，无法清晰观察样品表面形貌。科研人员从长期工作经验中摸索出一种方法，即利用经常适于用观察透射成像的载样网，将粉末样品与不发生反应的溶剂(一般为无水乙醇)配成悬浮液，然后超声振荡分散，用一次性滴管将悬浮液滴在载样网上，等其干燥后移至样品台上，用导电胶带将其与样品台固定在一起，然后进行镀金或喷碳处理后进入样品仓，再扫描观察样品表面形貌，取得了很好的效果。载样网若是铜材质，就称铜网，如果是镍、钼、金、尼龙，就相应的称镍网、钼网、金网、尼龙网等。

中国专利202020703335.0公开了一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台(申请日期为2020年4月30日)，利用工具(通常为尖头摄子)水平夹紧载样网边缘(即摄子与载样网平面平行)，或利用工具竖直夹紧载样网两边(即摄子与载样网平面垂直)，将载样网放入载样网固定槽，然后将工具从工具水平进出槽或工具竖直进出槽中撤离，载样网放置便捷顺利，降低了操作难度，提高了科研人员的工作效率。

但在使用该专利技术制备的样品台时，发现其技术方案存在如下不足：载样网体积小，常用标准为直径3.05mm，厚度18μm，载样网固定槽的直径略大于载样网的直径，载样网放置好后未与样品台使用导电胶带粘合。在样品台从制样室移至观测室时、从扫描电镜观测仓外进入观测仓内时、在观测仓内上下左右前后移动时，极易掉落遗失。如果掉落在观测仓外，需重新制样，如果掉落在观测仓内，对扫描电镜的使用造成较大的影响；如果单纯增加导电胶带或用导电胶水将载样网粘附在载样网固定槽或样品台表面，一方面造成科研成本的浪费，另一方面该样品测试完毕后载样网及样品只能报废，不能再用于其他测试(如TEM等)，科研效率低。

如何解决上述问题，是本领域技术人员工作的当务之急。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种载样网取放便捷且不会脱落的扫描电镜用样品台，解决如下技术问题：①如何在不使用导电胶带或导电胶水的情况下，确保载样网不会从样品台上掉落，而且不影响对样品的观测效果；②如保做到利用工具(通常为尖头摄子)夹紧载样网时，工具进出方便，载样网放置便捷顺利。

本实用新型采用如下技术方案：