[实用新型]一种碳化硅双脉冲测试装置

说明书

本申请涉及一种碳化硅双脉冲测试装置，其电容模块包括多个并联的充电电容器，充电电容器的第一电极连接有同一个第一母排，充电电容器的第二电极连接有同一个第二母排；同轴电阻模块包括同轴电阻器以及连接件，同轴电阻器的第一电极与第一母排电连接，同轴电阻器的第二电极与连接器件模块电连接；同轴电阻器的第一电极通过连接件与第一母排可拆卸连接，和/或，同轴电阻器的第二电极通过连接件与连接器件模块可拆卸连接；连接器件模块包括第一连接排、测试器件以及第二连接排，第一连接排与同轴电阻器的第二电极电连接，第二连接排与第二母排电连接；本申请具有对不同参数的碳化硅器件的适应性强的效果。

技术领域

本申请涉及碳化硅测试的领域，尤其是涉及一种碳化硅双脉冲测试装置。

背景技术

目前在半导体器件的应用方面，随着碳化硅生产成本的降低，碳化硅由于其优良的性能而可能取代硅作芯片，打破硅芯片由于材料本身性能的瓶颈，给电子业带来了革命性的变革。碳化硅的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，碳化硅晶片制成的功率器件具有禁带宽度大、器件极限工作温度高、临界击穿电场强度大、热导率等显著的性能优势，在电动汽车、电源、军工、航天等领域具有广阔的市场前景。

基于碳化硅晶片的功率器件制成后需要对其性能进行测试，目前使用碳化硅测试平台对碳化硅进行测试，因此测试主回路中会使用到同轴电阻器。现有结构中，常采用焊接的方法将同轴电阻器固定并电连接在测试主回路中，大大降低了测试台的适配性。

发明人认为在检测不同参数的碳化硅器件时，需要更换同轴电阻器不同的测试主回路对不同的碳化硅器件进行测试，现有焊接有同轴电阻器的碳化硅测试平台存在有适配性低、成本高的缺陷。

发明内容

为了提高碳化硅测试平台的适配性、降低测试成本，本申请提供一种碳化硅双脉冲测试装置。

本申请提供的一种碳化硅双脉冲测试装置采用如下的技术方案：

一种碳化硅双脉冲测试装置，包括电容模块、同轴电阻模块以及连接器件模块；

所述电容模块包括多个并联连接且充有电能的充电电容器，多个所述充电电容器的第一电极连接有同一个第一母排，多个所述充电电容器的第二电极连接有同一个第二母排；

所述同轴电阻模块包括同轴电阻器以及连接件，所述同轴电阻器的第一电极与所述第一母排电连接，所述同轴电阻器的第二电极与所述连接器件模块电连接；所述同轴电阻器的第一电极通过所述连接件与所述第一母排可拆卸连接，和/或，所述同轴电阻器的第二电极通过所述连接件与所述连接器件模块可拆卸连接；

所述连接器件模块包括依次电连接的第一连接排、测试器件以及第二连接排，所述第一连接排与所述同轴电阻器的第二电极电连接，所述第二连接排与所述第二母排电连接。

通过采用上述技术方案，将同轴电阻器设为可拆卸连接，提高了同轴电阻模块针对不同参数的碳化硅器件的适应性。

优选的，所述连接件包括相互可拆卸连接的连接杆与连接套，所述同轴电阻器的第一电极与所述连接杆固定连接，所述第一母排上开设有第一通孔，所述连接杆的一端穿过所述第一通孔后与所述连接套可拆卸连接，所述连接套抵紧所述第一母排，所述第一母排抵紧所述同轴电阻器的第一电极。

通过采用上述技术方案，连接杆与同轴电阻器的第一电极固定连接，连接杆通过连接套与第一母排实现连接，从而实现同轴电阻器的固定。

优选的，所述第二母排设有第二通孔，所述第二通孔的位置与所述第一通孔的位置对应，所述连接套位于所述第二通孔内。

通过采用上述技术方案，连接套位于第二通孔内，利于缩短第一母排与第二母排之间的距离，缩短安装路径，便于拆装。