[实用新型]一种活动平台及化学气相沉积装置

权利要求书

1.一种活动平台，应用于化学气相沉积装置，其特征在于，包括调节装置和沉积台，所述调节装置固定在所述化学气相沉积装置的反应室的顶部，所述沉积台连接在所述调节装置上，所述调节装置用于调节所述沉积台在所述反应室内的位置。

2.如权利要求1所述的活动平台，其特征在于，所述调节装置包括固定机构和平移机构，所述固定机构连接在所述反应室的顶部，所述平移机构连接在所述固定机构上，所述平移机构用于驱动所述沉积台水平移动。

3.如权利要求2所述的活动平台，其特征在于，所述平移机构包括平移体、平移手柄和用于连接所述平移手柄与所述平移体的第二驱动件，所述第二驱动件贯穿所述反应室的顶部，且连接有所述平移手柄；

所述平移体通过旋转连接板连接所述沉积台。

4.如权利要求3所述的活动平台，其特征在于，所述第二驱动件包括蜗杆、蜗轮和平移齿条；

所述蜗杆的一端连接所述平移手柄，另一端通过所述蜗轮卡接所述平移齿条；

所述平移齿条安装在与所述蜗杆对应的所述平移体的一端。

5.如权利要求2所述的活动平台，其特征在于，所述调节装置还包括角度调节机构，所述角度调节机构的一端连接所述固定机构，另一端连接所述沉积台以使所述沉积台相对于所述角度调节机构水平移动。

6.如权利要求5所述的活动平台，其特征在于，所述角度调节机构包括角度调节手柄和与所述角度调节手柄连接的第三驱动件，所述第三驱动件贯穿所述反应室的顶部，且连接有所述角度调节手柄。

7.如权利要求6所述的活动平台，其特征在于，所述第三驱动件包括滑杠、丝杠、螺母和角度调节板；

所述丝杠套设在带有滑键的所述滑杠上，所述丝杠的外螺纹与所述螺母的内螺纹卡接，所述螺母固定连接所述角度调节板；

所述角度调节板上设置有用于连接所述沉积台的滑槽，所述沉积台利用随动轴卡接在所述滑槽内。

8.如权利要求2所述的活动平台，其特征在于，所述固定机构为升降机构，所述升降机构包括升降手柄、第一驱动件、升降底板和与所述升降底板固定连接的滑动轮，所述第一驱动件的一端连接所述升降底板，另一端贯穿所述反应室的顶部，且连接有所述升降手柄；

所述平移机构上设置有用于卡接所述滑动轮的凹槽。

9.一种化学气相沉积装置，其特征在于，所述装置包括反应前驱进气系统、尾气处理系统和反应室，所述反应室的顶部设置有如权利要求1-8任一所述的活动平台。

10.如权利要求9所述的装置，其特征在于，所述反应前驱进气系统包括至少两路连通所述反应室的气体通道，所述气体通道分别设置有质量流量控制器，所述质量流量控制器用于控制参与化学气相沉积的反应气体的质量及通入反应气体的速率。

11.如权利要求9或10任一项所述的装置，其特征在于，所述反应室包括至少两个气体扩散加热模块的进气接口和至少一个出气接口，所述进气接口用于连通所述气体通道，所述出气接口用于连通所述尾气处理系统；

所述气体扩散加热模块包括至少一个气体扩散板和挡板；所述挡板设置于所述气体扩散板上方；

所述气体扩散板包括加热模块和多孔气体分散网，所述加热模块为灯泡、灯管和/或加热线圈中的至少一种，所述多孔气体分散网中含有制备二维材料所需的过渡金属元素。