[实用新型]一种用于低辐射LOW-E镀膜材料的升降臂及更换装置

说明书

本实用新型公开一种用于低辐射LOW‑E镀膜材料的升降臂及更换装置，包括能够升降移动的L型升降臂主体，所述L型升降臂主体包括升降臂横向支臂和升降臂竖向支臂，所述升降臂横向支臂的自由端的上部安装有固定座，所述固定座开设有用于放置圆柱材料的弧形凹槽，所述弧形凹槽的内表面设置有减震垫；本实用新型在L型升降臂上安装带有弧形凹槽的固定座，并在弧形凹槽的内表面设置减震垫，能够把圆柱形靶卡放在弧形凹槽内，同时依靠减震垫进行减震，实现对圆柱形靶的升降，并在升降和转运过程中避免掉落和磕碰，保证安全性。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种用于低辐射LOW-E镀膜材料的升降臂及更换装置。

背景技术

目前，真空磁控溅射镀膜线主体是由多个具有分子泵抽气腔位和多个应用溅射材料的阴极组成，设备生产达到一定周期后，就要进行设备保养、材料更换。根据材料的特性及材料的厚度，一般在30-40天/次，一个分子泵盖板和阴极盖板都有几吨重，每条镀膜线都有几十个这样的隔舱，各类材料单根也有上百斤，而这些均需要行车进行吊运，因此，需要行车的地方非常多，导致停机保养时行车使用非常频繁，经常不够用，需要等待的时间也较多。

其中，更换材料需要使用行车量和时间尤其突出，工作人员将旧靶材(多为圆柱材料)从换靶车上拆卸取下后，利用行车吊至旁边，抽出里面的磁棒，换上新的材料，再利用行车吊至换靶小车，然后将新靶与磁棒安装至阴极盖板上，这整个过程中都需要行车辅助，每次停机保养都要进行几十次至上百次这样的工作，致使其他行车工作就经常发生等待，造成极大的时间和人力的等待浪费，工作效率极低。

为了降低对行车的依赖程度，考虑替代现有的更换材料的方式，采用其他升降可移动装置进行更换。授权公告号为CN 209127979 U的中国专利公开了一种丝杆式叉车升降装置，包括门架、减速电机、螺杆、螺母和叉爪，螺杆平行于门架的高度方向，螺杆的下端与门架的下端连接，螺杆的上端与门架的上端连接，减速电机的输出轴与螺杆的上端或下端连接，螺母套于螺杆，叉爪与螺母连接，减速电机驱动螺杆转动进而带动螺母沿门架上下往复移动从而实现叉爪的上下往复移动；该方案能够实现叉爪的上下移动，但是由于叉爪较为平滑，并不适合叉取并提升圆柱形的材料，无法保证圆柱形靶升降及转运过程的安全性。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种用于低辐射LOW-E镀膜材料的升降臂及更换装置，以解决上述现有技术存在的问题，在L型升降臂上安装带有弧形凹槽的固定座，并在弧形凹槽的内表面设置减震垫，能够把圆柱形靶卡放在弧形凹槽内，同时依靠减震垫进行减震，实现对圆柱形靶的升降，并在升降和转运过程中避免掉落和磕碰，保证安全性。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供一种用于低辐射LOW-E镀膜材料的升降臂，包括能够升降移动的L型升降臂主体，所述L型升降臂主体包括升降臂横向支臂和升降臂竖向支臂，所述升降臂横向支臂的自由端的上部安装有固定座，所述固定座开设有用于放置圆柱材料的弧形凹槽，所述弧形凹槽的内表面设置有减震垫。

优选地，所述弧形凹槽的内表面为半圆弧面。

本实用新型还提供一种用于低辐射LOW-E镀膜材料的更换装置，应用前文记载的升降臂，包括支架、设置在所述支架上的升降结构以及设置在所述支架底部的行走结构，所述升降结构连接所述升降臂竖向支臂。

优选地，所述L型升降臂主体并列设置有两个，且分别设置在所述支架宽度方向上的两侧。

优选地，所述升降结构包括驱动部和升降部，所述驱动部包括安装在所述支架顶部的升降机以及贯穿所述升降机的丝杆，所述丝杆的底端连接有所述升降部，所述升降部上连接所述升降臂竖向支臂。

优选地，所述支架为L型支架结构，所述L型支架结构包括支架横向支臂和支架竖向支臂，所述支架横向支臂与所述升降臂横向支臂的延伸方向同向。