[实用新型]一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构

说明书

本实用新型公开一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，包括摆臂支座、摆臂机构和管线机构，摆臂支座包括主摆臂支架、旋转电机连接座和管线定位器，旋转电机连接座连接在主摆臂支架上，旋转电机定位座的上端中部开设有连接管线定位器的第一凹槽，第一凹槽两侧分别设有第一管线走线槽和第二管线走线槽；摆臂机构包括第一摆臂、第二摆臂、第一吸嘴组件和第二吸嘴组件，主摆臂支架上连有第一音圈电机组件和第二音圈电机组件；管线机构包括第一电机导线、第二电机导线、第一气管和第二气管，第一摆臂上设有第一气管定位组件，第二摆臂上设有第二气管定位组件。该摆臂校准结构简单新颖，容易校准，性能稳定，并且线路定位合理，后期维护方便简单。

技术领域

本实用新型涉及半导体晶片生产设备，具体涉及一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构。

背景技术

从近几年开始，LED半导体晶片迅速向显示领域扩展，随着Mini LED和Micro LED晶片的出现和飞速发展，要求晶片分选机能够分选更小尺寸的晶片，势必要求高速旋转摆动的摆臂更加高速、稳定，且变形率小。目前的半导体晶片生产设备中的摆臂和摆臂校准机构，给生产更小尺寸晶片带来困难。现有的摆臂和摆臂校准机构结构复杂，并且摆臂上的管线较多不易整理，特别是气嘴连接的气管悬浮在摆臂上方，在摆臂移动时，气管也会随意摆动，虽然能够正常工作，但是气管摆动过于频繁后，气管与气嘴接口处容易脱落，后期维护维修频繁。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，该摆臂校准结构简单新颖，容易校准，性能稳定，并且线路定位合理，后期维护方便简单。

本实用新型为了实现上述目的，采用的技术解决方案是：

一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，包括摆臂支座、摆臂机构和管线机构，摆臂支座包括主摆臂支架、旋转电机连接座和管线定位器，旋转电机连接座通过螺栓连接在主摆臂支架的上端，旋转电机定位座的上端中部开设有连接管线定位器的第一凹槽，第一凹槽两侧分别设置有第一管线走线槽和第二管线走线槽；

所述摆臂机构包括第一摆臂和第二摆臂，主摆臂支架的两侧分别连接有用于驱动第一摆臂升降的第一音圈电机组件和用于驱动第二摆臂升降的第二音圈电机组件；第一摆臂的端头部连接有第一吸嘴组件，第二摆臂的端头部连接有第二吸嘴组件；

所述管线机构包括第一电机导线、第二电机导线、第一气管和第二气管，第一摆臂上设置有用于连接第一气管的第一气管定位组件，第二摆臂上设置有用于连接第二气管的第二气管定位组件，第一气管的一端与第一吸嘴组件连接，第二气管与第二吸嘴组件连接。

优选的，所述第一音圈电机组件一侧的主摆臂支架上安装有检测第一摆臂升降位置的第一光栅尺、第一读数头，第二音圈电机组件一侧的主摆臂支架上安装有检测第二摆臂升降位置的第二光栅尺、第二读数头。

优选的，所述第一摆臂包括第一内定位块、第一中定位块和第一外支臂，第一内定位块的内端通过第一摆臂定位销、第一摆臂锁紧螺丝与第一音圈电机组件连接；

第一内定位块的上端开设有第一轴向滑动槽，第一轴向滑动槽通过第一轴向固定螺丝与第一中定位块连接，第一轴向滑动槽内设置有调节第一中定位块轴向位置的第一轴向调节螺丝。

优选的，所述第一中定位块上开设有第一X轴方向滑动槽，第一外支臂的端部通过第一X轴固定螺丝连接在第一X轴方向滑动槽内；第一中定位块的侧壁上设置在用于调节第一外支臂的第一X轴方向调节螺丝；

所述第一外支臂的外端部上开设有第一吸嘴定位夹槽，第一吸嘴组件连接在第一吸嘴定位夹槽内并通过第一夹槽锁紧螺栓固定。

优选的，所述第二摆臂包括第二内定位块、第二中定位块和第二外支臂，第二内定位块的内端通过第二摆臂定位销、第二摆臂锁紧螺丝与第二音圈电机组件连接；