[实用新型]一种检测机构有效

专利信息
申请号: 202120759795.X 申请日: 2021-04-14
公开(公告)号: CN215525551U 公开(公告)日: 2022-01-14
发明(设计)人: 付冬冬;许玉佩 申请(专利权)人: 昆山精讯电子技术有限公司;苏州精濑光电有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司
主分类号: G01N21/84 分类号: G01N21/84;G01N21/01
代理公司: 苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙) 32299 代理人: 时萌萌
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 检测 机构
【权利要求书】:

1.一种检测机构,其特征在于,包括:

第一X轴轨道(1),沿第一方向设置;

第二X轴轨道(2),沿第一方向设置,与所述第一X轴轨道(1)设置在同一平面上;

第一滑块(3),安装在所述第一X轴轨道(1)上,能够在驱动机构的带动下沿所述第一X轴轨道(1)移动;

第二滑块(4),安装在所述第二X轴轨道(2)上,能够在驱动机构的带动下沿所述第二X轴轨道(2)移动;

Y轴轨道(6),一端通过角度调整装置(7)与所述第一滑块(3)连接,另一端通过转轴(8)与所述第二滑块(4)连接;

扫描组件(9),安装在所述Y轴轨道(6)上,能够在驱动机构的带动下沿所述Y轴轨道(6)移动。

2.根据权利要求1所述的检测机构,其特征在于,所述第一滑块(3)上具有第一连接片(31),所述Y轴轨道(6)一侧具有第二连接片(61);所述角度调整装置(7)包括主体部分(71)和伸缩部分(72),所述主体部分(71)和伸缩部分(72)分别与所述第一连接片(31)和第二连接片(61)铰接。

3.根据权利要求2所述的检测机构,其特征在于,所述第一滑块(3)上固定有防护板(32),所述防护板(32)的一侧抵靠在所述角度调整装置(7)的一侧。

4.根据权利要求1-3任一项所述的检测机构,其特征在于,所述Y轴轨道(6)绕所述转轴(8)转动的路径所在的面与第一X轴轨道(1)垂直。

5.根据权利要求1-3任一项所述的检测机构,其特征在于,所述驱动机构包括:

Y轴驱动件(51),安装在所述Y轴轨道(6)一端;

X轴驱动件(52);

传动轴(53),与所述X轴驱动件(52)连接,能够在所述X轴驱动件(52)的带动下转动;

同步带,安装在所述第一X轴轨道(1)和第二X轴轨道(2)上,所述第一X轴轨道(1)和第二X轴轨道(2)上的同步带均与所述传动轴(53)连接且传动比一致。

6.根据权利要求1-3任一项所述的检测机构,其特征在于,所述第一滑块(3)和所述第二滑块(4)的一侧设有感应片(33),所述第一X轴轨道(1)和第二X轴轨道(2)的两端设有感应器(11),所述感应器(11)能够感应所述感应片(33)。

7.根据权利要求1-3任一项所述的检测机构,其特征在于,所述扫描组件(9)包括多个朝向不同角度的显微镜。

8.根据权利要求7所述的检测机构,其特征在于,所述扫描组件(9)还包括用于调整显微镜位置和角度的调节机构。

9.根据权利要求5所述的检测机构,其特征在于,所述Y轴驱动件(51)、X轴驱动件(52)为伺服电机。

10.根据权利要求9所述的检测机构,其特征在于,所述Y轴驱动件(51)通过同步带与所述扫描组件(9)连接。

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