[实用新型]一种检测机构有效
申请号: | 202120759795.X | 申请日: | 2021-04-14 |
公开(公告)号: | CN215525551U | 公开(公告)日: | 2022-01-14 |
发明(设计)人: | 付冬冬;许玉佩 | 申请(专利权)人: | 昆山精讯电子技术有限公司;苏州精濑光电有限公司;武汉精测电子集团股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/01 |
代理公司: | 苏州知途知识产权代理事务所(普通合伙) 32299 | 代理人: | 时萌萌 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 机构 | ||
1.一种检测机构,其特征在于,包括:
第一X轴轨道(1),沿第一方向设置;
第二X轴轨道(2),沿第一方向设置,与所述第一X轴轨道(1)设置在同一平面上;
第一滑块(3),安装在所述第一X轴轨道(1)上,能够在驱动机构的带动下沿所述第一X轴轨道(1)移动;
第二滑块(4),安装在所述第二X轴轨道(2)上,能够在驱动机构的带动下沿所述第二X轴轨道(2)移动;
Y轴轨道(6),一端通过角度调整装置(7)与所述第一滑块(3)连接,另一端通过转轴(8)与所述第二滑块(4)连接;
扫描组件(9),安装在所述Y轴轨道(6)上,能够在驱动机构的带动下沿所述Y轴轨道(6)移动。
2.根据权利要求1所述的检测机构,其特征在于,所述第一滑块(3)上具有第一连接片(31),所述Y轴轨道(6)一侧具有第二连接片(61);所述角度调整装置(7)包括主体部分(71)和伸缩部分(72),所述主体部分(71)和伸缩部分(72)分别与所述第一连接片(31)和第二连接片(61)铰接。
3.根据权利要求2所述的检测机构,其特征在于,所述第一滑块(3)上固定有防护板(32),所述防护板(32)的一侧抵靠在所述角度调整装置(7)的一侧。
4.根据权利要求1-3任一项所述的检测机构,其特征在于,所述Y轴轨道(6)绕所述转轴(8)转动的路径所在的面与第一X轴轨道(1)垂直。
5.根据权利要求1-3任一项所述的检测机构,其特征在于,所述驱动机构包括:
Y轴驱动件(51),安装在所述Y轴轨道(6)一端;
X轴驱动件(52);
传动轴(53),与所述X轴驱动件(52)连接,能够在所述X轴驱动件(52)的带动下转动;
同步带,安装在所述第一X轴轨道(1)和第二X轴轨道(2)上,所述第一X轴轨道(1)和第二X轴轨道(2)上的同步带均与所述传动轴(53)连接且传动比一致。
6.根据权利要求1-3任一项所述的检测机构,其特征在于,所述第一滑块(3)和所述第二滑块(4)的一侧设有感应片(33),所述第一X轴轨道(1)和第二X轴轨道(2)的两端设有感应器(11),所述感应器(11)能够感应所述感应片(33)。
7.根据权利要求1-3任一项所述的检测机构,其特征在于,所述扫描组件(9)包括多个朝向不同角度的显微镜。
8.根据权利要求7所述的检测机构,其特征在于,所述扫描组件(9)还包括用于调整显微镜位置和角度的调节机构。
9.根据权利要求5所述的检测机构,其特征在于,所述Y轴驱动件(51)、X轴驱动件(52)为伺服电机。
10.根据权利要求9所述的检测机构,其特征在于,所述Y轴驱动件(51)通过同步带与所述扫描组件(9)连接。
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