[实用新型]差速不等待机构

说明书

本实用新型公开了差速不等待机构，包括转轴(1)、与所述转轴(1)同轴设置且固定配合的同步带轮(3)、与所述转轴(1)转动配合的传动轮(2)、安装在所述传动轮(2)上的棘爪机构、及与所述转轴(1)同轴布置且固定配合的棘轮(6)，所述棘轮(6)与所述棘爪机构的棘爪(4)相啮合。本实用新型提供的差速不等待机构，便于差速传送中的过渡切换，提高生产效率。

技术领域

本实用新型涉及传送设备技术领域，特别涉及一种差速不等待机构。

背景技术

溅射是利用荷能粒子轰击固体靶材，使靶材原子或分子被溅射出来并沉积到衬底表面的一种工艺。

现有技术中，在溅镀室内设有多个传送机构，以将载具由来料端传送至溅射区，以便于进行溅射工艺。如图1所示，原有机构中，1#位置左侧为来料方向，3#位置右侧为溅镀区；1#位置以4-0米/分钟的恒定速度转动，2#位置以1.0或4.0米/分钟的恒定速度转动，3#位置以1.0米/分钟的恒定速度转动；同一个载具不能同时在两种速度的传动轮上，接触载具较少的一种速度的传动上上载具会打滑，这种情况会引起框架抖动，从而导致载具上的产品掉落摔坏。如图2所示，传送机构包括转轴100、与转轴100同轴布置且固定连接的传动轮200、及与转轴100同轴布置且固定连接的同步带轮300，同步带轮300经由同步带与电机动力输出端的主动轮传动连接，从而主动轮经同步带带动，进而带动传动轮200转动以传输其上的载具。

如图3(a)-3(c)所示，分析运动过程后可以得知，载具B从状态1到状态2，1#位置/2#位置以4.0米/分钟的速度转动，走完1#位置到2#位置全程2米需耗时2(m)/4.0(m/min)＝0.5min，在这0.5分钟内，载具A在3#位置向左移动了0.5米；此时2#位置速度变更为1.0米/分钟，载具B在距离载具A0.5米处一直尾随进入溅镀区；待载具B到达3#位置后重复状态1到状态3的过程。

经过计算，状态2时待载具B如需赶上载具A，需要再以4.0米/分钟的速度往3#位置方向再移动1/6分钟，赶上后，载具B下方有4.0米/分钟传动轮三个，1.0米/分钟传动轮两个，载具会在3#位置处打滑。影响载具的传送，导致溅射工艺的顺利进行。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种差速不等待机构，提高生产效率和产品质量。

基于上述问题，本实用新型提供的技术方案是：

差速不等待机构，包括转轴、与所述转轴同轴设置且固定配合的同步带轮、与所述转轴转动配合的传动轮、安装在所述传动轮上的棘爪机构、及与所述转轴同轴布置且固定配合的棘轮，所述棘轮与所述棘爪机构的棘爪相啮合。

在其中的一个实施例中，所述棘爪机构包括转动销接在所述传动轮轴向一侧的棘爪、及用于使所述棘爪与所述棘轮相啮合的弹性件。

在其中的一个实施例中，所述弹性件为拉簧，所述拉簧一端连接至所述棘爪且另一端连接至所述传动轮。

在其中的一个实施例中，所述棘轮与所述转轴键连接。

在其中的一个实施例中，所述棘轮轴向两端分别设有卡簧。

在其中的一个实施例中，所述传动轮经由第一轴承支承在所述转轴上。

在其中的一个实施例中，所述转轴经由第二轴承、第三轴承支承。

在其中的一个实施例中，所述同步带轮与所述转轴键连接，所述同步带轮安装在所述转轴的端部，所述转轴的端部固定有垫片且所述垫片与所述同步带轮轴向一端相抵接。

与现有技术相比，本实用新型的优点是：