[实用新型]一种用于卧式真空镀膜机的导向机构有效
申请号: | 202120763975.5 | 申请日: | 2021-04-14 |
公开(公告)号: | CN214782127U | 公开(公告)日: | 2021-11-19 |
发明(设计)人: | 魏文杰;黄余;阳锐;袁超;李浩 | 申请(专利权)人: | 四川华岩机械设备制造有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56;C23C14/50 |
代理公司: | 成都华复知识产权代理有限公司 51298 | 代理人: | 任丽娜 |
地址: | 610000 四川省成都市温江区*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 卧式 真空镀膜 导向 机构 | ||
1.一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,包括安装环(1),其特征在于:所述安装环(1)的数量为两组,安装环(1)的下方设置有固定调节机构(2),安装环(1)的内部设置有可伸缩承接机构(3),安装环(1)的一侧设置有转向机构(4),安装环(1)的外侧设置有三组弓形导向板(5)。
2.根据权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,其特征在于:所述固定调节机构(2)包括双向螺杆(201)、旋钮(202)、第一滑座(203)和第一导轨(204),位于下方的一组弓形导向板(5)上转动安装有双向螺杆(201),两组安装环(1)均螺纹安装于双向螺杆(201)上且呈中心对称分布,双向螺杆(201)的一端延伸至弓形导向板(5)的外部并固定安装有旋钮(202),两组安装环(1)的外壁均固定安装有三组第一滑座(203),三组弓形导向板(5)内均固定安装有一组第一导轨(204),两组安装环(1)上的第一滑座(203)均滑动安装于第一导轨(204)上,安装环(1)与弓形导向板(5)滑动安装。
3.根据权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,其特征在于:所述可伸缩承接机构(3)包括固定圆盘(301)、承接板(302)和气缸(303),两组安装环(1)的内壁上均转动安装有一组固定圆盘(301),两组固定圆盘(301)的相邻两侧壁上均开设有一组条形洞口,条形洞口内套设安装有承接板(302),固定圆盘(301)的内部固定安装有气缸(303),气缸(303)的自由端与承接板(302)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,其特征在于:所述转向机构(4)包括内齿轮环(401)、支撑台(402)、伺服电机(403)和驱动齿轮(404),一组内齿轮环(401)的外壁上固定安装有内齿轮环(401),位于下方的一组弓形导向板(5)上固定安装有支撑台(402),支撑台(402)的顶部固定安装有伺服电机(403),伺服电机(403)的输出轴通过联轴器延伸至内齿轮环(401)的内部并固定安装有驱动齿轮(404),内齿轮环(401)与驱动齿轮(404)相啮合。
5.根据权利要求3所述的一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,其特征在于:两组所述固定圆盘(301)的相邻侧壁上均粘贴固定有橡胶垫片。
6.根据权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,其特征在于:所述弓形导向板(5)上固定安装有第二导轨(6),第二导轨(6)上滑动安装有第二滑座(7)。
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