[实用新型]一种用于卧式真空镀膜机的导向机构有效

专利信息
申请号: 202120763975.5 申请日: 2021-04-14
公开(公告)号: CN214782127U 公开(公告)日: 2021-11-19
发明(设计)人: 魏文杰;黄余;阳锐;袁超;李浩 申请(专利权)人: 四川华岩机械设备制造有限公司
主分类号: C23C14/56 分类号: C23C14/56;C23C14/50
代理公司: 成都华复知识产权代理有限公司 51298 代理人: 任丽娜
地址: 610000 四川省成都市温江区*** 国省代码: 四川;51
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 用于 卧式 真空镀膜 导向 机构
【权利要求书】:

1.一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,包括安装环(1),其特征在于:所述安装环(1)的数量为两组,安装环(1)的下方设置有固定调节机构(2),安装环(1)的内部设置有可伸缩承接机构(3),安装环(1)的一侧设置有转向机构(4),安装环(1)的外侧设置有三组弓形导向板(5)。

2.根据权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,其特征在于:所述固定调节机构(2)包括双向螺杆(201)、旋钮(202)、第一滑座(203)和第一导轨(204),位于下方的一组弓形导向板(5)上转动安装有双向螺杆(201),两组安装环(1)均螺纹安装于双向螺杆(201)上且呈中心对称分布,双向螺杆(201)的一端延伸至弓形导向板(5)的外部并固定安装有旋钮(202),两组安装环(1)的外壁均固定安装有三组第一滑座(203),三组弓形导向板(5)内均固定安装有一组第一导轨(204),两组安装环(1)上的第一滑座(203)均滑动安装于第一导轨(204)上,安装环(1)与弓形导向板(5)滑动安装。

3.根据权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,其特征在于:所述可伸缩承接机构(3)包括固定圆盘(301)、承接板(302)和气缸(303),两组安装环(1)的内壁上均转动安装有一组固定圆盘(301),两组固定圆盘(301)的相邻两侧壁上均开设有一组条形洞口,条形洞口内套设安装有承接板(302),固定圆盘(301)的内部固定安装有气缸(303),气缸(303)的自由端与承接板(302)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,其特征在于:所述转向机构(4)包括内齿轮环(401)、支撑台(402)、伺服电机(403)和驱动齿轮(404),一组内齿轮环(401)的外壁上固定安装有内齿轮环(401),位于下方的一组弓形导向板(5)上固定安装有支撑台(402),支撑台(402)的顶部固定安装有伺服电机(403),伺服电机(403)的输出轴通过联轴器延伸至内齿轮环(401)的内部并固定安装有驱动齿轮(404),内齿轮环(401)与驱动齿轮(404)相啮合。

5.根据权利要求3所述的一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,其特征在于:两组所述固定圆盘(301)的相邻侧壁上均粘贴固定有橡胶垫片。

6.根据权利要求1所述的一种用于卧式真空镀膜机的导向机构,其特征在于:所述弓形导向板(5)上固定安装有第二导轨(6),第二导轨(6)上滑动安装有第二滑座(7)。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川华岩机械设备制造有限公司,未经四川华岩机械设备制造有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120763975.5/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code