[实用新型]氮气设备

权利要求书

1.一种氮气设备，用于存放可开闭的晶圆承载盒，其特征在于，包括箱体、氮气输送管和开盒装置；所述箱体具有多层水平放置的横板，所述横板用于放置晶圆承载盒；所述氮气输送管的出口与所述箱体的内部连通，所述氮气输送管用于向所述箱体的内部输送氮气；所述开盒装置设置在所述箱体内，并用于打开与关闭所述晶圆承载盒。

2.根据权利要求1所述的氮气设备，其特征在于，所述氮气输送管的出口设置在所述箱体内并邻近所述晶圆承载盒。

3.根据权利要求2所述的氮气设备，其特征在于，所述氮气输送管的出口的轴线斜向上布置。

4.根据权利要求1所述的氮气设备，其特征在于，所述晶圆承载盒为密闭料盒，所述密闭料盒包括晶圆提篮和盖子，所述盖子盖设于所述晶圆提篮的外部，或者所述晶圆承载盒为前开式晶片传送盒。

5.根据权利要求4所述的氮气设备，其特征在于，所述开盒装置包括气缸或直线电机，所述气缸或所述直线电机用于驱动所述盖子相对于所述晶圆提篮升降，或者所述气缸或所述直线电机用于驱动所述前开式晶片传送盒的前门升降。

6.根据权利要求1所述的氮气设备，其特征在于，还包括延时装置，与所述开盒装置通信连接；所述延时装置用于控制所述开盒装置按照预设时间控制晶圆承载盒的开闭状态。

7.根据权利要求6所述的氮气设备，其特征在于，所述延时装置包括计时器，用于对晶圆承载盒的打开时间进行计时，所述开盒装置用于根据所述计时器的计时时间控制所述晶圆承载盒在打开预设时间后关闭。

8.根据权利要求1所述的氮气设备，其特征在于，还包括与所述氮气输送管连接的氮气流量调节装置；所述氮气流量调节装置被配置为当所述晶圆承载盒打开时，限定所述氮气输送管向所述箱体输送第一流量的氮气；所述氮气流量调节装置还被配置为当所述晶圆承载盒关闭时限定所述氮气输送管向所述箱体输送第二流量的氮气，所述第一流量大于所述第二流量。

9.根据权利要求8所述的氮气设备，其特征在于，所述氮气输送管包括并联布置的常开管路和常闭管路，所述氮气流量调节装置包括第一限流装置、第二限流装置和阀门，所述常开管路上设置有所述第一限流装置，所述第一限流装置用于限制所述常开管路输出的氮气流量为所述第二流量，所述常闭管路上设置有所述第二限流装置和所述阀门，所述第二限流装置用于限制所述常闭管路输出的氮气流量为所述第一流量；所述阀门用于与所述开盒装置联动，当所述晶圆承载盒打开时，所述阀门开启，且当所述晶圆承载盒关闭时，所述阀门关闭。

10.根据权利要求1所述的氮气设备，其特征在于，所述氮气输送管包括一根总管，所述总管伸入所述箱体内，或者所述氮气输送管包括一根总管和至少一根分管，所述总管设置在所述箱体的外部，至少一根所述分管连接所述总管并设置在所述箱体的内部。