[实用新型]一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉

权利要求书

1.一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，包括生长炉本体(1)和通风柱(3)，其特征在于，所述生长炉本体(1)的一侧设有出风管(2)，所述出风管(2)的内部开设有三号出风口(6)，所述生长炉本体(1)的一侧设有与三号出风口(6)配合的通风柱(3)，所述通风柱(3)的内部设有调整机构(5)，所述通风柱(3)的一侧设有通风箱(4)，所述通风箱(4)的内部滑动连接有一号过滤网(11)，所述出风管(2)的一侧固定连接有两个固定板(8)，所述固定板(8)的内部开设有卡槽(9)，所述通风柱(3)的外侧设有两个与卡槽(9)配合的固定机构(7)。

2.根据权利要求1所述的一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，其特征在于：所述调整机构(5)包括一号挡风板(55)和二号挡风板(58)，所述通风柱(3)的内部固定连接有一号挡风板(55)，所述一号挡风板(55)的内部开设有一号出风口(56)，所述一号挡风板(55)的一侧转动连接有二号挡风板(58)，且二号挡风板(58)与通风柱(3)转动连接，所述二号挡风板(58)的内部开设有与一号出风口(56)配合的二号出风口(57)，所述二号挡风板(58)的内部固定连接有转杆(54)，且转杆(54)与一号挡风板(55)转动连接，所述转杆(54)的外侧固定连接有齿轮(53)，所述通风柱(3)的顶部设有电动伸缩杆(51)，所述电动伸缩杆(51)的输出端固定连接有与齿轮(53)配合的齿条(52)，且齿轮(53)与齿条(52)啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，其特征在于：所述固定机构(7)包括螺杆(71)，所述通风柱(3)的外侧转动连接有两个螺杆(71)，所述螺杆(71)的外侧螺纹连接有连接板(72)，所述连接板(72)的内部滑动连接有限位滑杆(73)，且限位滑杆(73)与通风柱(3)固定连接，所述连接板(72)的一侧固定连接有连接块(74)，所述连接块(74)的底部固定连接有与卡槽(9)配合的固定块(75)。

4.根据权利要求1所述的一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，其特征在于：所述通风箱(4)的内部固定连接有阻风板(12)，所述阻风板(12)的一侧与通风箱(4)之间滑动连接有三号过滤网(15)，所述阻风板(12)远离三号过滤网(15)的一侧与通风箱(4)之间滑动连接有二号过滤网(13)，所述三号过滤网(15)为活性炭材料，所述二号过滤网(13)为HEPA过滤材料，所述通风箱(4)的一侧设有排风口，所述通风箱(4)的内部滑动连接有与一号过滤网(11)配合的集尘抽箱(14)，所述通风箱(4)的一侧设有密封门。

5.根据权利要求1所述的一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，其特征在于：所述三号出风口(6)的内侧设有密封圈(10)。

6.根据权利要求2所述的一种方便风量调节的高温感应加热碳化硅单晶生长炉，其特征在于：所述生长炉本体(1)的一侧设有控制面板(16)，所述电动伸缩杆(51)与控制面板(16)电性连接。