[实用新型]湿法腐蚀夹具

权利要求书

1.一种湿法腐蚀夹具，其特征在于，包括底座、顶盖和密封机构，底座上设有承载部，用于承载待腐蚀的晶圆，顶盖设在底座上方，密封机构用于防止腐蚀液接触朝承载部的晶圆正面，密封机构、顶盖和晶圆背面共同形成用于容纳腐蚀液的腔室。

2.如权利要求1所述的湿法腐蚀夹具，其特征在于，还包括搅拌器，搅拌器的搅拌头位于承载部上方。

3.如权利要求2所述的湿法腐蚀夹具，其特征在于，所述搅拌器的搅拌轴设在顶盖中央，搅拌头设在搅拌轴的一端，搅拌轴的另一端穿过顶盖与搅拌器的驱动装置连接。

4.如权利要求3所述的湿法腐蚀夹具，其特征在于，所述密封机构包括锁紧机构和设在承载部上方的密封圈，待腐蚀的晶圆放置在承载部与密封圈之间，密封圈的内径小于待腐蚀的晶圆的尺寸，在锁紧机构的锁紧下，顶盖紧压密封圈。

5.如权利要求4所述的湿法腐蚀夹具，其特征在于，所述底座顶面设有第一凹槽，第一凹槽为圆柱形结构，密封圈为圆环形结构，外径小于第一凹槽的直径，承载部为设在第一凹槽内的承载片，承载片为圆形结构。

6.如权利要求5所述的湿法腐蚀夹具，其特征在于，所述承载片下方设有缓冲垫圈，缓冲垫圈与密封圈尺寸相同。

7.如权利要求5所述的湿法腐蚀夹具，其特征在于，所述顶盖包括圆柱体，圆柱体的顶部设有沿径向向外延伸的延伸部，圆柱体的底面设有向上凹陷的第二凹槽，第二凹槽的直径与密封圈的内径一致，搅拌头设在第二凹槽内，锁紧机构包括多个连接延伸部与底座的螺钉。

8.如权利要求7所述的湿法腐蚀夹具，其特征在于，所述顶盖包括上盖和下盖，上盖为圆盘结构，设在下盖上方，搅拌轴设在上盖中央。

9.如权利要求7所述的湿法腐蚀夹具，其特征在于，所述延伸部的外周面与底座的外周面平齐，底座上环绕第一凹槽设有多个第一螺孔，延伸部上设有第二螺孔，螺钉螺接第一螺孔和第二螺孔并锁紧，而将顶盖固定在底座上。

10.如权利要求5所述的湿法腐蚀夹具，其特征在于，所述承载片采用耐碱腐蚀的玻璃或钢材制成，底座和顶盖采用聚四氟材料制成。